江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司朱兵兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利Mini LED芯片分选方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119230452B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411347419.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权Mini LED芯片分选方法及系统是由朱兵兵;郭磊;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本Mini LED芯片分选方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MiniLED芯片分选方法及系统,涉及芯片分选技术领域,所述方法包括:对晶圆中的晶粒进行抽测,以生成测试数据;根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据,以使所述晶圆中的所有晶粒均对应有测试数据;对所述晶圆进行切割处理,以将所述晶圆中的晶粒切割成芯片;对所述晶圆进行扩张处理,以扩大所述芯片的间隔;对所述晶圆进行AOI检测,以生成检测数据;根据所述测试数据及检测数据对所述晶圆中的芯片进行分选处理,以将所述芯片分类至对应的等级;对所述晶圆进行目检处理,以识别分选后的所述芯片的外观缺陷。采用本发明,可实现异常晶粒的有效卡控,让异常晶粒在厂内卡住,减少晶粒异常PPM值,减少客户投诉,提高产品品质。
本发明授权Mini LED芯片分选方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种MiniLED芯片分选方法,其特征在于,包括: 对晶圆中的晶粒进行抽测,以生成测试数据;所述对晶圆中的晶粒进行抽测的步骤包括:构建直角平面坐标系;为所述晶圆中的晶粒分配坐标;分别沿横坐标方向及纵坐标方向等距抽取晶粒进行点测; 根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据,以使所述晶圆中的所有晶粒均对应有测试数据;所述根据所述测试数据填充抽测所形成的空挡数据的步骤包括:将已进行点测的晶粒作为基准晶粒,将未进行点测的晶粒作为未测晶粒;根据相邻两个基准晶粒的测试数据,计算相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的测试数据;将已计算出的测试数据的未测晶粒更新为基准晶粒; 对所述晶圆进行切割处理,以将所述晶圆中的晶粒切割成芯片; 对所述晶圆进行扩张处理,以扩大所述芯片的间隔; 对所述晶圆进行AOI检测,以生成检测数据; 根据所述测试数据及检测数据对所述晶圆中的芯片进行分选处理,以将所述芯片分类至对应的等级; 对所述晶圆进行目检处理,以识别分选后的所述芯片的外观缺陷; 所述根据相邻两个基准晶粒的测试数据,计算相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的测试数据的步骤包括:提取相邻两个基准晶粒的测试数据;获取相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的数量;根据公式Qi=Qs+i[Qe-QsN+1],计算相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的测试数据;其中,Qs为相邻两个基准晶粒中起始基准晶粒的测试数据,Qe为相邻两个基准晶粒中末位基准晶粒的测试数据,N为相邻两个基准晶粒之间的未测晶粒的数量,Qi为相邻两个基准晶粒之间第i个未测晶粒的测试数据。
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