山东大学张百涛获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种晶片拉伸剥离装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119115673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411235220.2，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种晶片拉伸剥离装置及方法是由张百涛;梁润泽;姚勇平;王荣堃;姚波;夏金宝;白蒙设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片拉伸剥离装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶片拉伸剥离装置及方法，涉及半导体加工技术领域，所述装置包括相对设置的第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置，第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置均包括粘接圆盘工件和拉力臂，所述粘接圆盘工件用于实现晶片拉伸剥离，所述拉力臂用于调节第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置之间的相对距离；所述粘接圆盘工件包括恒温加热板和过渡板，所述恒温加热板内设置有升温降温装置，所述过渡板设置在恒温加热板外侧，用于与碳化硅晶锭接触，所述过渡板和碳化硅的热膨胀系数的差值，小于恒温加热板和碳化硅的热膨胀系数的差值；所述碳化硅晶锭在距碳化硅晶锭的第一端面的第一距离处具有改质层。本发明能够提高分片的良品率。
本发明授权一种晶片拉伸剥离装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片拉伸剥离装置，其特征在于，包括相对设置的第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置，第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置均包括粘接圆盘工件和拉力臂，所述粘接圆盘工件用于实现晶片拉伸剥离，所述拉力臂用于调节第一拉伸剥离装置和第二拉伸剥离装置之间的相对距离； 所述粘接圆盘工件包括恒温加热板和过渡板，所述恒温加热板内设置有升温降温装置，所述过渡板为石英过渡板，设置在恒温加热板外侧，用于与待剥离的碳化硅晶锭接触，所述过渡板和碳化硅的热膨胀系数的差值，小于恒温加热板和碳化硅的热膨胀系数的差值； 所述碳化硅晶锭在距碳化硅晶锭的第一端面的第一距离处具有改质层； 还包括超声模块，第一拉伸剥离装置的过渡板朝向碳化硅晶锭的第一端面，所述超声模块设置在第一拉伸剥离装置上，用于产生超声波以传播至所述碳化硅晶锭，诱导所述改质层的裂纹进一步扩展连结。
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