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龙图腾网获悉兰州空间技术物理研究所申请的专利一种柔性薄膜传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119086364B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411280744.3，技术领域涉及：G01N15/00；该发明授权一种柔性薄膜传感器是由张海燕;李得天;高立波;王鹢;常思远;赵振栋;王富刚设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柔性薄膜传感器在说明书摘要公布了：本申请涉及空间尘埃测量技术领域，具体而言，涉及一种柔性薄膜传感器，包括封装层、固定基板、电极层以及敏感单元，其中：敏感单元为PVDF薄膜；电极层包括上电极层和下电极层，上电极层和下电极层均是以PVDF薄膜为基底，通过磁控溅射工艺制备而成的多层叠加结构；固定基板包括上固定基板和下固定基板，上固定基板与上电极层固定装配，下固定基板与下电极层固定装配；封装层包括上封装层和下封装层，上封装层通过螺栓与上固定基板固定连接，下封装层通过螺栓与下固定基板固定连接。本申请用于尘埃动量特性测量，通过在PVDF薄膜上进行AuCr金属的磁控溅射，从而提升传感器的灵敏度，同时响应层为极化的PVDF薄膜，具备高压电系数。

本发明授权一种柔性薄膜传感器在权利要求书中公布了：1.一种柔性薄膜传感器，其特征在于，用于测量空间高速尘埃的动量特性，包括封装层、固定基板、电极层以及敏感单元，其中： 所述敏感单元为PVDF薄膜，厚度为8-12μm； 所述电极层包括上电极层和下电极层，所述上电极层设置在所述PVDF薄膜的上方，所述下电极层设置在所述PVDF薄膜的下方，所述上电极层和所述下电极层均是以所述PVDF薄膜为基底，通过磁控溅射工艺制备而成的多层叠加结构； 所述固定基板包括上固定基板和下固定基板，所述上固定基板与所述上电极层固定装配，所述下固定基板与所述下电极层固定装配； 所述封装层包括上封装层和下封装层，所述上封装层通过螺栓与所述上固定基板固定连接，所述下封装层通过螺栓与所述下固定基板固定连接； 所述封装层的材料为铝合金； 所述固定基板的材料为玻璃； 所述上电极层和所述下电极层均是由Au层和Cr层叠加组合而成，其中: 所述Cr层是以所述PVDF薄膜为基底溅射而成，所述Cr层的厚度为5-6nm； 所述Au层是在所述Cr层上溅射而成，所述Au层的厚度为50-60nm； 所述电极层上设置有引出导线，所述引出导线采用夹头和空心铆钉的方式固定引出； 引出的导线与后续的信号采集系统进行连接，信号采集系统包括信号调理电路、信号处理电路以及信号传输电路；信号调理电路由电荷放大、低通滤波电路组成，能够实现信号的调理；信号处理电路为电源供电电路、微处理器控制电路以及电路控制程序设计；信号传输电路采用有线传输将数据传输给显示端；通过信号显示软件实现信号可视化的显示； 当空间尘埃撞击传感器时，施加在敏感单元表面的压力会引起PVDF薄膜的微小形变，导致其内部电荷分布变化，根据粒子的动量与PVDF薄膜响应的电压量之间的换算关系解析尘埃动量特性。

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