先导薄膜材料(安徽)有限公司张立涵获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119080477B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411294854.5，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法是由张立涵;徐涛;陆杨军;王恒煜设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种细晶高强度的氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法。制备方法包括以下步骤：1称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、五氧化二钽粉末、氧化铈粉末；2将称取的粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料；3以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末；4进行压制成型，得到靶坯；5将靶坯依次进行脱脂烧结和两段式常压烧结，得氧化铟钛钽铈靶材，所述两段式常压烧结包括：升温至1400~1500℃，保温5~10h；降温至1320~1370℃，保温35~50h。本申请的靶材微观结构变得更加均匀，晶粒尺寸显著细化，显著提高了抗弯强度。
本发明授权一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1按质量比为95.5~97.5：0.3~2.0：0.3~2.0：0.3~1.5分别称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、五氧化二钽粉末、氧化铈粉末； 2将步骤1称取的粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料； 3以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末； 4以混合氧化物粉末为原料进行压制成型，得到靶坯； 5将靶坯依次进行脱脂烧结和两段式常压烧结，得氧化铟钛钽铈靶材，所述两段式常压烧结包括： 升温至1400~1500℃，保温5~10h；降温至1320~1370℃，保温35~50h。
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