苏州天准科技股份有限公司李祥获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118759807B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411167781.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法是由李祥;陈曦;邢吉文;谢淑俊设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法，属于半导体检测加工领域，兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台；相机组件设置在掩模版吸附框上方，掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小，景深范围可兼容掩模版上下表面和载物台上表面三个待测面，检测效果好，提高了整体效率，便于在半导体检测和加工领域推广应用。
本发明授权掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法在权利要求书中公布了：1.一种掩模版和载物台的兼容检测装置，其特征在于：所述兼容检测装置包括相机组件1、掩模版吸附框2、掩模版3和载物台4； 所述相机组件1设置在掩模版吸附框2上方，所述掩模版3设置在掩模版吸附框2处；相机组件1的景深范围兼容掩模版3的上、下表面和载物台4的上表面三个待检测面清晰成像。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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