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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利一种双谐振MEMS传感器及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118746316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410957295.5，技术领域涉及：G01D5/24；该发明授权一种双谐振MEMS传感器及其工作方法是由凤瑞;周六辉;商兴莲;周铭;解亚飞设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双谐振MEMS传感器及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双谐振MEMS传感器及其工作方法，双谐振MEMS传感器包括：第一振荡器、第二振荡器、鉴频鉴相器和延时控制电路；振荡器包括谐振器和谐振电路，谐振电路包括延时器；谐振器检测待测信号产生电容信号，谐振电路用于根据电容信号，在延时器控制下输出模拟反馈信号，模拟反馈信号输入谐振器形成闭环电路；鉴频鉴相器检测输入两个延时器的数字信号的频率和相位，当频率差小于预设第一阈值且相位差小于预设第二阈值，输出延时控制电路的控制信号，延时控制电路根据控制信号控制两个延时器进行延时调整，使两个模拟反馈信号的相位不同步。本发明能够避免双谐振MEMS传感器的两个谐振器频率接近时存在的共振测量盲区的问题。

本发明授权一种双谐振MEMS传感器及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种双谐振MEMS传感器，其特征在于，包括：第一振荡器、第二振荡器、鉴频鉴相器和延时控制电路；所述第一振荡器包括第一谐振器和第一谐振电路，所述第一谐振电路包括第一延时器，所述第二振荡器包括第二谐振器和第二谐振电路，所述第二谐振电路包括第二延时器； 所述第一谐振器用于检测待测信号产生第一电容信号，所述第一谐振电路用于根据第一电容信号，在第一延时器控制下输出第一模拟反馈信号，所述第一模拟反馈信号输入第一谐振器形成闭环电路； 所述第二谐振器用于检测待测信号产生第二电容信号，所述第二谐振电路用于根据第二电容信号，在第二延时器控制下输出第二模拟反馈信号，所述第二模拟反馈信号输入第二谐振器形成闭环电路； 所述鉴频鉴相器与第一延时器、第二延时器并联，用于检测输入第一延时器的第一数字信号和输入第二延时器的第二数字信号的频率和相位，当检测到第一数字信号和第二数字信号的频率差小于预设第一阈值且相位差小于预设第二阈值时，输出延时控制电路的控制信号，所述延时控制电路根据控制信号控制第一延时器和第二延时器进行延时调整，使第一模拟反馈信号和第二模拟反馈信号的相位不同步。

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