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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗的喷淋清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118635185B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411031558.6，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种晶圆清洗的喷淋清洗机是由张重宠;冉玉林设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗的喷淋清洗机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗的喷淋清洗机，具体涉及晶圆清洗机技术领域包括设备框架，所述设备框架的内部固定安装有传动机构，所述传动机构的顶部固定安装有夹持机构，所述夹持机构的一侧固定安装有喷淋机构，传动机构包括旋转机构和联动机构，所述旋转机构的内部固定安装有震动机构。该用于晶圆清洗的喷淋清洗机，通过设置的旋转机构带动夹持机构旋转的同时，通过联动机构带动震动机构运行，进而通过震动机构带动夹持机构上下震动，使晶圆在喷淋机构底部旋转的同时震动，促使清洗液在晶圆表面形成更均匀的流动，避免清洗液在某些区域堆积，确保整个晶圆表面得到一致的清洗效果，震动可以帮助打破污染物与晶圆表面的粘附力，增加清洁效果。

本发明授权一种晶圆清洗的喷淋清洗机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗的喷淋清洗机，包括设备框架1，所述设备框架1的内部固定安装有传动机构2，所述传动机构2的顶部固定安装有夹持机构3，所述夹持机构3的一侧固定安装有喷淋机构4，其特征在于：传动机构2包括旋转机构21和联动机构23，所述旋转机构21的内部固定安装有震动机构22，所述旋转机构21的输出轴通过联动机构23连接在震动机构22的一侧，所述旋转机构21固定安装在夹持机构3的底部； 所述旋转机构21带动夹持机构3旋转的同时，通过联动机构23带动震动机构22运行，进而通过震动机构22带动夹持机构3上下震动，使晶圆在喷淋机构4底部旋转的同时震动，促使清洗液在晶圆表面形成更均匀的流动，避免清洗液在某些区域堆积，确保整个晶圆表面得到一致的清洗效果； 所述旋转机构21包括第一电机211和安装盘216，所述第一电机211的输出轴通过联轴器固定连接有第一皮带轮212，所述第一皮带轮212的外壁套设安装有传动皮带213，所述传动皮带213的内部套设安装有第二皮带轮214，所述第二皮带轮214的顶部固定安装有两组滑套215，所述安装盘216活动安装在滑套215的内部，所述安装盘216固定安装在夹持机构3的底部； 所述震动机构22包括安装架221，所述安装架221旋转安装在第二皮带轮214的内部，所述安装架221的内部滑动安装有第一连接杆222，所述第一连接杆222的一侧旋转安装有两组传动齿轮223，两组所述传动齿轮223相互啮合，所述传动齿轮223的一侧固定连接有偏心块224，所述第一连接杆222的顶部固定安装有挡片225，所述挡片225固定安装在安装盘216的底部，所述第一连接杆222的外壁套设安装有第一弹簧226，所述第一弹簧226设置在安装架221和挡片225之间； 所述联动机构23包括第一锥齿轮231，所述第一锥齿轮231固定安装在第一电机211的输出轴上，所述第一锥齿轮231的一侧啮合连接有第二锥齿轮232，所述第二锥齿轮232的一侧固定安装有传动杆233，所述传动杆233固定连接在传动齿轮223的一侧，所述传动杆233的内部固定安装有十字滑块联轴器234。

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