安徽微芯长江半导体材料有限公司殷仲阳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种多腔室碳化硅晶片生产装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118600539B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410863991.X，技术领域涉及：C30B23/00；该发明授权一种多腔室碳化硅晶片生产装置是由殷仲阳;孔海宽;忻隽;张艾晨设计研发完成，并于2024-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多腔室碳化硅晶片生产装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多腔室碳化硅晶片生产装置，涉及晶片生产技术领域，包括生产筒，生产筒下部设有保温室，生产筒内位于保温室上方依次设有风冷腔与水冷腔，上盖中心部及风冷腔与水冷腔底部壁上设有位于同一直线上的贯穿口，底板位于生产筒两侧固定设有外框架，外框架设有螺纹杆，螺纹杆穿过贯穿口并在底部固定设有籽晶托，水冷腔和风冷腔设有伸缩腔，伸缩腔内设有支撑弹簧，支撑弹簧一端固定在支撑杆上，支撑杆固定设有封挡板。本发明结构简单，在通过升华方式制造碳化硅晶体时，可将生产出的碳化硅晶体进行快速冷却，各腔室之间可进行拆分，在进行高温作业时能够有效防止热量外溢，且冷却时不需要将晶体拆下，增快工作效率及安全性，适合推广。
本发明授权一种多腔室碳化硅晶片生产装置在权利要求书中公布了：1.一种多腔室碳化硅晶片生产装置，包括生产筒1，其特征在于，所述生产筒1下部设有保温室8，所述生产筒1内位于保温室8上方依次设有风冷腔7与水冷腔6，所述生产筒1顶部可拆卸设有上盖4，所述上盖4中心部及风冷腔7与水冷腔6底部壁上设有位于同一直线上的贯穿口5； 生产筒1固定在底板2上，所述底板2位于生产筒1两侧固定设有延伸至贯穿口5上方的外框架3，所述外框架3位于贯穿口5上方处通过驱动机构设有螺纹杆11，所述螺纹杆11穿过贯穿口5进入到生产筒1内并在底部固定设有籽晶托14； 所述水冷腔6和风冷腔7腔内底部的两侧固定设有相对称的伸缩腔18，所述伸缩腔18内设有支撑弹簧30，所述支撑弹簧30一端固定在支撑杆23上，所述支撑杆23贯穿出伸缩腔18，所述支撑杆23远离伸缩腔18一侧固定设有封挡板19，所述封挡板19底部与水冷腔6和风冷腔7腔内底部壁滑动相连。
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