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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种基于电光聚合物/铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118584706B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410824701.0，技术领域涉及：G02F1/035；该发明授权一种基于电光聚合物/铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法是由王希斌;付雨舒;李尚融;孙士杰;张大明设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于电光聚合物/铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法在说明书摘要公布了：一种基于电光聚合物铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法，属于平面光波导光调制器及其制备技术领域.从下至上依次由硅衬底、二氧化硅氧化层、铌酸锂平板层、脊型结构铌酸锂芯层和电光聚合物上包层组成；脊型结构铌酸锂芯层由输入直波导、输入锥形波导、第一弯曲波导和第二弯曲波导、第一调制臂直波导和第二调制臂直波导、第三弯曲波导和第四弯曲波导、输出锥形波导、输出直波导组成；在第一调制臂直波导和第二调制臂直波导外侧和内侧的铌酸锂平板层之上分别制备接地电极和信号电极。本发明有效的降低了调制器的调制效率、减小了器件的尺寸，与半导体工艺兼容，能够实现大规模集成和生产，具有重要的实际应用价值。

本发明授权一种基于电光聚合物/铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于电光聚合物铌酸锂薄膜异质集成波导的MZI型电光调制器，其特征在于：从下至上依次由硅衬底1、二氧化硅氧化层2、铌酸锂平板层3、脊型结构铌酸锂芯层4和电光聚合物上包层5组成；电光聚合物上包层5位于铌酸锂平板层3和脊型结构铌酸锂芯层4之上，脊型结构铌酸锂芯层4被完成包覆在电光聚合物上包层5之中；脊型结构铌酸锂芯层4从左到右沿光输入方向，依次由输入直波导14、输入锥形波导12、结构相同的第一弯曲波导15和第二弯曲波导15’、结构相同且相互平行的第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9、结构相同的第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’、输出锥形波导13、输出直波导17组成；在第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9外侧的铌酸锂平板层3之上分别对称制备有长条形结构的第一接地电极11和第二接地电极11’，在第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9内侧的铌酸锂平板层3之上制备有矩形结构的信号电极10；第一弯曲波导15和第三弯曲波导16关于第一调制臂直波导8对称设置，第二弯曲波导15’和第四弯曲波导16’关于第二调制臂直波导9对称设置，第一接地电极11和第二接地电极11’关于信号电极10对称设置；输入直波导14、输入锥形波导12、第一弯曲波导15和第二弯曲波导15’构成3-dBY分束器，第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’、输出锥形波导13、输出直波导17构成3-dBY合束器；聚合物上包层5的材料为掺有生色团分子的电光聚合物，其折射率低于铌酸锂的折射率；其中，输入直波导14和输出直波导17的长度a1和a1’相等为10～500μm，宽度w1和w1’相等为1～5μm；第一弯曲波导15、第二弯曲波导15’、第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’平行于输入直波导14中输入光方向的投影长度a2和a2’相等为15～300μm，宽度w2、w2’、w5和w5’相等为1～5μm；第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9的长度a3和a3’相等为3.5～9mm，宽度w3和w3’相等为1～5μm；输入锥形波导12和输出锥形波导13平行于输入直波导14中输入光方向的投影长度a4和a4’相等为5～100μm，输入锥形波导12与第一弯曲波导15和第二弯曲波导15’、输出锥形波导13与第三弯曲波导16和第四弯曲波导16’连接处的宽度w4和w4’相等为1～30μm；第一接地电极11和第二接地电极11’的长度a5和a5’相等为4～8mm，宽度b1和b1’相等为80～150μm；信号电极10的长度a6为4～8mm，宽度b2为10～20μm；信号电极10与第一接地电极11和第二接地电极11’之间的间距gap和gap’相等为2～20μm；第一调制臂直波导8和第二调制臂直波导9之间的距离为10～60μm；以上所指的宽度均是脊型结构铌酸锂芯层4的上底宽度w，下底宽度w’遵循公式w′＝w+2×h4×tanθ，其中h4为脊型结构铌酸锂芯层4的厚度，θ为脊型结构相对于竖直方向的倾斜角度。

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