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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆自动检测分选装置及控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118437651B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410536090.X，技术领域涉及：B07C5/34；该发明授权一种晶圆自动检测分选装置及控制系统是由楚磊;何炜颖;张强设计研发完成，并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆自动检测分选装置及控制系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆自动检测分选装置及控制系统，包括输送组件、检测安装架、控制器和检测组件，其中，输送组件设置在外部机架顶部；检测安装架设置在输送组件中端表面；控制器设置在检测安装架上端表面，并与外部电源电连接；检测组件包括检测安装座、晶圆平坦度测定模块、晶圆厚度测定模块、晶圆表面膜厚度测定模块、晶圆表面膜种类识别模块和晶圆刻字码读取模块，检测安装座设置在检测安装架下端表面。由此，本装置集多种检测功能为一体，无需来回奔波检测，有效提高检测效率，通过去除现有装置重复无用结构，极大降低生产成本，同时，本装置还具备分选功能，无需人工分选，进一步提高工作效率，并降低操作人员劳动强度。

本发明授权一种晶圆自动检测分选装置及控制系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动检测分选装置，其特征在于，包括输送组件1、检测安装架2、控制器3和检测组件4，其中， 所述输送组件1设置在外部机架顶部； 所述检测安装架2设置在所述输送组件1中端表面； 所述控制器3设置在所述检测安装架2上端表面，并与外部电源电连接； 所述检测组件4包括检测安装座41、晶圆平坦度测定模块42、晶圆厚度测定模块43、晶圆表面膜厚度测定模块44、晶圆表面膜种类识别模块45和晶圆刻字码读取模块46，其中， 所述检测安装座41设置在所述检测安装架2下端表面； 所述晶圆平坦度测定模块42、所述晶圆厚度测定模块43、所述晶圆表面膜厚度测定模块44、所述晶圆表面膜种类识别模块45和所述晶圆刻字码读取模块46沿X轴方向从左往右按顺序依次设置在所述检测安装座41底部； 所述控制器3分别与所述输送组件1、所述晶圆平坦度测定模块42、所述晶圆厚度测定模块43、所述晶圆表面膜厚度测定模块44、所述晶圆表面膜种类识别模块45和所述晶圆刻字码读取模块46电性连接； 所述输送组件1包括H型安装架11、输送带机构12、晶圆安装座13和平面取放机构14，其中， 所述H型安装架11螺栓紧固在外部机架顶部； 所述输送带机构12设置在所述H型安装架11顶部； 所述晶圆安装座13均匀设置在所述输送带机构12表面； 所述平面取放机构14对称设置在所述H型安装架11表面，并位于所述检测安装架2外侧； 所述H型安装架11包括左垂直架111、中水平架112和右垂直架113，其中， 所述左垂直架111、所述中水平架112和所述右垂直架113沿X轴方向从左往右按顺序依次设置，并固定连接； 所述输送带机构12包括第一输送带121、第二输送带122、第三输送带123、第四输送带124和第五输送带125，其中， 所述第一输送带121、所述第二输送带122和所述第三输送带123沿Y轴方向从前往后按顺序依次设置在所述左垂直架111顶部； 所述第四输送带124沿X轴方向设置在所述中水平架112顶部； 所述第五输送带125沿Y轴方向设置在所述右垂直架113顶部； 所述第一输送带121、所述第二输送带122、所述第三输送带123、所述第四输送带124和所述第五输送带125均内置有第一驱动电机，并分别与所述控制器3电性连接； 所述晶圆安装座13分别均匀设置在所述第四输送带124表面和所述第五输送带125表面； 所述输送组件1还包括第二负压环形吸座6，多组所述晶圆安装座13表面分别开设有便于放置晶圆的定位通槽131，所述定位通槽131与晶圆外形尺寸相适配，所述第二负压环形吸座6固定连接在所述定位通槽131内壁； 所述第二负压环形吸座6与外部输气管一端相连接，外部输气管表面设置有电磁阀，并与所述控制器3电性连接。

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