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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利离散差分检测的Z轴MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118348279B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410459027.0，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权离散差分检测的Z轴MEMS加速度计是由周铭;王甫;凤瑞;商兴莲设计研发完成，并于2024-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本离散差分检测的Z轴MEMS加速度计在说明书摘要公布了：本申请公开了微机械传感器领域中的一种离散差分检测的Z轴MEMS加速度计，包括基片，基片上设有中心锚点；第一质量块、第二质量块，所述第一质量块、第二质量块中部铰接于所述中心锚点，第一质量块、第二质量块同侧端可相互交叉穿过；离散电极，所述离散电极设于所述中心锚点两侧的基片上并与第一质量块、第二质量块对应设置；离散电极与所述第一质量块构成第一敏感单元，所述离散电极与所述第二质量块构成第二敏感单元；本申请采用铰接的第一质量块、第二质量块将差分检测电容离散设置，每一对差分检测电容都紧邻着布置在尽可能小的基片局部，使得基片上任意局部的变形对离散设置的差分检测电容都产生近乎相同的电容变化量，以相互抵消，消除零偏。

本发明授权离散差分检测的Z轴MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.离散差分检测的Z轴MEMS加速度计，其特征在于，包括 基片10，所述基片10上设有中心锚点20； 第一质量块3011、第二质量块3012，所述第一质量块3011、第二质量块3012中部铰接于所述中心锚点20，所述第一质量块3011、第二质量块3012同侧端可相互交叉穿过；所述第一质量块3011两侧分别设有间隔、平行的左梳齿板302ａ、右梳齿板302ｂ，所述第二质量块3012两侧分别设有间隔、平行的左梳齿板302ａ、右梳齿板302ｂ，所述左梳齿板302ａ和所述右梳齿板302ｂ上的梳齿同侧交替错位布置； 离散电极308，所述离散电极308设于所述中心锚点20两侧的基片10上并与所述第一质量块3011、第二质量块3012对应设置； 所述离散电极308与所述第一质量块3011构成第一敏感单元30ａ，所述离散电极308与所述第二质量块3012构成第二敏感单元30ｂ，所述第一敏感单元30ａ、第二敏感单元30ｂ相互作用完成离散差分检测。

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