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龙图腾网获悉江苏鑫华半导体科技股份有限公司申请的专利一种电子级硅料清洗装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118002544B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410202301.6，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种电子级硅料清洗装置及方法是由吴锋;徐玲锋;韩秀娟;田新;蒋文武设计研发完成，并于2024-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子级硅料清洗装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种电子级硅料清洗装置及方法，包括第一酸洗槽、第二酸洗槽、第三酸洗槽和精馏装置，精馏装置将分离后的硝酸返回第一酸洗槽，氢氟酸和水流入第二酸洗槽，精馏装置对第一酸洗槽内酸液的分离和循环，第一检测装置对第一酸洗槽内的硝酸浓度进行检测，根据检测结果控制第一酸洗槽的硝酸补充口的流量，第二检测装置对第二酸洗槽内的氢氟酸浓度进行检测，通过控制第一酸洗槽内补充的硝酸流量，使得第一酸洗槽内硝酸的下降梯度与第二酸洗槽内的氢氟酸上升的梯度保持在最佳范围，有助于控制酸液的有效浓度，第二酸洗槽内氢氟酸浓度上升有利于刻蚀能力的发挥，提高清洗效率，降低了酸液的使用量，降低了成本。

本发明授权一种电子级硅料清洗装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种电子级硅料清洗方法，其特征在于，所述方法采用的装置包括： 依次设置的第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽； 所述第一酸洗槽和所述第二酸洗槽之间设有精馏装置，所述精馏装置的入口与所述第一酸洗槽相连，用于对所述第一酸洗槽内的酸液进行蒸馏分离出硝酸、氢氟酸和水； 所述精馏装置的第一出口与所述第一酸洗槽相连，用于将精馏后的硝酸返回所述第一酸洗槽； 所述精馏装置的第二出口与所述第二酸洗槽相连，用于将精馏后的氢氟酸和水流入所述第二酸洗槽； 所述第一酸洗槽设有第一检测装置，用于检测所述第一酸洗槽内的硝酸浓度，所述第二酸洗槽设有第二检测装置，用于检测所述第二酸洗槽内的氢氟酸浓度； 所述第一酸洗槽设有与所述第一检测装置连接的硝酸补充口； 所述方法的步骤包括： 将所述第一酸洗槽、所述第二酸洗槽和所述第三酸洗槽内的酸洗溶液进行配比，所述酸洗溶液包括氢氟酸和硝酸，其中，所述第一酸洗槽、所述第二酸洗槽和所述第三酸洗槽内氢氟酸和硝酸配比逐渐减小； 将硅料依次放入所述第一酸洗槽、所述第二酸洗槽和所述第三酸洗槽内进行酸洗； 启动所述精馏装置，对所述第一酸洗槽内的酸液进行蒸馏循环； 用所述第一检测装置检测所述第一酸洗槽内硝酸浓度，根据检测结果控制硝酸补充口进料量； 用所述第二检测装置检测所述第二酸洗槽内氢氟酸的浓度，并控制所述第一酸洗槽内硝酸浓度的下降梯度与所述第二酸洗槽内氢氟酸浓度的上升梯度比例在设定范围内，所述上升梯度比例为1：1.3~1：1.5。

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