浙大城市学院崔颂雅获国家专利权
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龙图腾网获悉浙大城市学院申请的专利一种电容式液态金属基湿度传感器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117943697B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310393144.7,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权一种电容式液态金属基湿度传感器及其制备方法和应用是由崔颂雅;田成祥;王镇伟;李明珠;彭亮设计研发完成,并于2023-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容式液态金属基湿度传感器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种电容式液态金属基湿度传感器及其制备方法和应用。本发明采用由包裹自身氧化物的液态金属纳米颗粒构成传感层,利用液态金属氧化物实现响应湿度变化的主动传感。本发明采用一步激光直写技术制备电容式液态金属基湿度传感器,操作简单、能耗小、节能减排、绿色环保,并且湿度传感器具有较好的响应时间与恢复特性。由于紫外激光的光热效应,包裹氧化物的液态金属纳米颗粒可以选择性被烧结,并由绝缘线转化为导电线,其电阻率为0.19Ω·cm,而未处理区域则是响应湿度变化的主动传感层。在95%相对湿度下,湿度传感器表现出高度稳定的性能、快速响应和恢复时间。
本发明授权一种电容式液态金属基湿度传感器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种电容式液态金属基湿度传感器,其中紫外激光直写技术一步法烧结区域电阻率为0.15-0.19Ω·cm,未烧结区域在95%RH下检测响应时间为1.2s,恢复时间为1.6s,其特征在于所述湿度传感器采用以下方法制备得到: 步骤S1:室温下,将液态金属分散在乙醇分散液中进行超声处理充分分散,同时液态金属发生氧化,得到直径为100nm~300nm的液态金属纳米颗粒分散液;所述液态金属纳米颗粒为液态金属外层被其氧化物包裹的颗粒;所述液态金属为镓铟合金;所述乙醇分散液采用体积含量为99%的乙醇溶液; 步骤S2:将聚酰亚胺薄膜作为柔性基底,并置于60℃~80℃的加热台上;然后将液态金属纳米颗粒分散液均匀滴到聚酰亚胺基底上表面,待液态金属纳米颗粒分散液中乙醇挥发后,留下液态金属纳米颗粒,重复多次滴涂后形成液态金属纳米颗粒层; 步骤S3:根据指定图案,采用紫外激光直写技术一步法加工聚酰亚胺薄膜的液态金属纳米颗粒层,得到电容式液态金属基柔性湿度传感器;由于紫外激光器的光热效应,液态金属纳米颗粒层中上层液态金属纳米颗粒表面的氧化物被烧结,致使上层去除表层氧化物的液态金属纳米颗粒构成导电网络,由绝缘线转化为导电线,使得后续液态金属纳米颗粒层表面即便发生氧化,也可实现导电;未被烧结的区域由于其上层由包裹氧化物的液态金属颗粒构成,利用氧化物实现响应湿度变化的主动传感;所述紫外激光器加工参数是:扫描速度为350mms~550mms,激光波长为355μm,激光通量为2.8~9.4Jcm2。
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