佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司刘伟基获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请的专利旋转工件盘及其控制方法、真空设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117512552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311652945.7，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权旋转工件盘及其控制方法、真空设备是由刘伟基;冀鸣;吴秋生;易洪波;赵刚设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转工件盘及其控制方法、真空设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种旋转工件盘及其控制方法、真空设备；所述旋转工件盘包括旋转机构、工件盘和旋转轴，旋转机构通过所述旋转轴连接工件盘；在旋转轴上设有转动机构，转动机构位于工件盘上部位置；转动机构连接一导向部件，导向部件在工件盘上方沿工件盘直径方向延伸，在导向部件上设有配重块；转动机构驱动导向部件绕旋转轴轴线进行旋转，使得导向部件旋转至相对于工件盘平面上的设定角度位置；导向部件推动配重块沿工件盘直径方向进行移动，使得配重块移动至距离旋转轴轴线设定距离位置处。该技术方案，实现了上料操作过程的自动化配平，提升了上料操作工作效率，确保旋转工件盘的平衡，增强了真空设备的工作稳定性，提升了工件镀膜或刻蚀的质量。
本发明授权旋转工件盘及其控制方法、真空设备在权利要求书中公布了：1.一种旋转工件盘，设于真空设备中，包括旋转机构、工件盘和旋转轴，所述旋转机构通过所述旋转轴连接所述工件盘；其特征在于，在所述旋转轴上设有转动机构，所述转动机构位于工件盘上部位置； 所述转动机构连接一导向部件，所述导向部件在所述工件盘上方沿工件盘直径方向延伸，在所述导向部件上设有配重块； 所述转动机构驱动所述导向部件绕旋转轴轴线进行旋转，使得所述导向部件旋转至相对于工件盘平面上的设定角度位置； 所述导向部件推动所述配重块沿工件盘直径方向进行移动，使得所述配重块移动至距离旋转轴轴线设定距离位置处。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司，其通讯地址为：528225 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1(住所申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励