鲁东大学张登英获国家专利权
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龙图腾网获悉鲁东大学申请的专利一种制备双层仿生复眼微透镜的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117348129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311454273.9,技术领域涉及:G02B3/00;该发明授权一种制备双层仿生复眼微透镜的方法是由张登英;梁尔栋;赵风周;张立春设计研发完成,并于2023-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备双层仿生复眼微透镜的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种制备双层仿生复眼微透镜的方法,该方法解决了当前制备双层仿生复眼微透镜时必须依赖昂贵的加工设备或者利用复杂的技术组合才能够实现的问题。本发明具有实施门槛低,成本低廉等优点。本发明的方法为:设计出用于制备双层仿生复眼微透镜的掩膜版,使用该掩膜版在正性光刻胶厚胶涂层上进行曝光显影,仅需使用一次曝光显影及热回流工艺便可在基片表面制备出双层仿生复眼微透镜。本发明适用于光学器件、微细加工、多尺度微结构制造等应用领域。
本发明授权一种制备双层仿生复眼微透镜的方法在权利要求书中公布了:1.一种制备双层仿生复眼微透镜的方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:设计用于制备双层仿生复眼微透镜的掩膜版,掩膜版图案由小正六边形图案交叉堆叠在一起组成一个大正六边形,大正六边形呈蜂窝状,每个小正六边形本身是不透光的,其两条相对的边之间的距离是30μm,相邻的两个小正六边形之间的距离是3μm,为透光区域,相邻的两个大正六边形之间的透光区域宽度是240μm; S2:双层仿生复眼微透镜的制备,步骤如下: S21:将基片清洗干净并在其上旋转涂覆AZ9260正性光刻胶,匀胶机的工艺参数设置为500rpm10s、1000rpm60s、500rpm10s这三个参数的循环,取AZ9260光刻胶滴于基片正中央,并以上述工艺参数完成第一次匀胶; S22:第一次匀胶完成后,将基片置于70℃热板上加热5min,完成后将基片冷却至室温; S23:以S21中匀胶机的工艺参数完成基片的第二次匀胶; S24:第二次匀胶完成后,将基片放入90℃烘箱中加热100min,完成后将基片冷却至室温; S25:将S24中获得的基片放置在匀胶机上,设定匀胶机参数为1000rpm5min,启动匀胶机后,使用针管将丙酮溶剂定点喷射到基片边缘,基片边缘处的一圈较厚的光刻胶被丙酮洗掉,完成此步骤后再将该基片放置在90℃的热板上加热10min以去除丙酮溶剂,最后将基片取下冷却至室温,便在基片上得到了厚度为40μm的光刻胶涂层; S26:将S1中的掩膜版与S25中获得的AZ9260光刻胶涂层紧密接触,并以1000mJcm2的曝光能量进行紫外曝光; S27:将AZ400K显影液与去离子水按照1:3的体积比进行混合,配制成稀释了的显影液,然后将S26中曝光后的基片放在该显影液中显影30min后取出,并用去离子水冲洗干净; S28:将S27中显影后的基片置于130℃热板上加热25min,便可在基片上制得双层仿生复眼微透镜。
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