台州学院;温岭工联工量刃具科技服务有限公司张平获国家专利权
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龙图腾网获悉台州学院;温岭工联工量刃具科技服务有限公司申请的专利一种AlTiN-WS2低摩擦系数耐磨涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117286450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311278867.9,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种AlTiN-WS2低摩擦系数耐磨涂层及其制备方法是由张平;俞健健;应普友;吴建波;杨涛;林长红;弗拉基米尔·列夫琴科设计研发完成,并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种AlTiN-WS2低摩擦系数耐磨涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及润滑涂层技术领域,具体涉及一种AlTiN‑WS2低摩擦系数耐磨涂层及其制备方法。具体技术方案为:一种AlTiN‑WS2低摩擦系数耐磨涂层的制备方法,包括以下步骤:1将预处理的基体利用钛离子弧靶进行钛离子清洗;2利用多弧离子镀在基体上沉积钛过渡层;3打开AlTi合金离子弧靶沉积AlTiN涂层;4打开高功率脉冲磁控溅射分别制备Ti层和WS2层。通过利用多弧离子镀预先沉积AlTiN硬质层,然后在此基础上利用HiPIMS沉积WS2固体润滑层,制备出具有低摩擦系数的耐磨涂层。
本发明授权一种AlTiN-WS2低摩擦系数耐磨涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种AlTiN-WS2低摩擦系数耐磨涂层的制备方法,其特征在于:包括以下步骤: 1将预处理的基体利用钛离子弧靶进行钛离子清洗;将基体放入真空室中,待真空室的气压抽至7×10-3Pa以下,使腔内温度加热稳定在100~300℃;然后利用钛离子弧靶,将靶电流设置为60A,通入50~100sccm的氩气,将基体偏压设置成600~800V,利用钛离子对基体进行金属离子清洗,设置Ti靶工作时间,开Ti靶1分钟,关1~3分钟,清洗时间3~5min; 2利用多弧离子镀在基体上沉积钛过渡层;完成钛离子清洗后,将基体偏压设置成100~300V,利用多弧离子镀在基体表面沉积一层厚度100~500nm的钛过渡层; 3打开AlTi合金离子弧靶沉积AlTiN涂层;打开AlTi合金离子弧靶,通入20~100sccm氩气和200~400sccm氮气,将偏压设置为50~150V,沉积一层厚度为1~3μm的金属氮化物硬质涂层; 4打开高功率脉冲磁控溅射分别制备Ti层和WS2层;将真空室温度降至100℃,关闭氮气,通入200~300sccm氩气,打开高功率脉冲磁控溅射制备一层厚度为50~200nm的Ti层,接着打开高功率脉冲磁控溅射制备一层WS2固体润滑层; 其中,制备Ti层时,Ti靶具体参数设置为25A,1KW,1000Hz,100μs,沉积10min;制备WS2层时,靶电流为8A、溅射功率为1.5KW,脉冲频率为1000Hz,脉冲宽度为300μs,基体偏压设为50V,沉积时间55min。
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