买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117231912B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311216021.2，技术领域涉及：F17C6/00；该发明授权一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统是由纪雪峰;陈亮;范威威设计研发完成，并于2023-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统，液氨充装装置包括液体供应单元、储液单元、分析单元、充装单元、回流单元、泄压单元和吹扫单元。其优点在于，通过设置分析单元并与储液单元连通，且分析单元可对储液单元内的氨气进行分析并得到分析结果，装置并根据分析结果将储液单元内氨气、液氨输送至充装单元、回流单元；还通过设置泄压单元分别与储液单元、充装单元连通，对储液单元、充装单元进行泄压，保证装置的工作安全性。

本发明授权一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种液氨充装装置，其特征在于，包括： 液体供应单元，液体供应单元用于输入液氨； 储液单元，储液单元与液体供应单元连通，用于存储液氨、汽化液氨以得到氨气； 分析单元，分析单元与储液单元、充装单元连通，用于分析氨气的成分是否符合标准； 充装单元，充装单元包括至少一充装元件、缓冲元件、至少一增压元件和过滤元件；充装元件分别与储液单元、分析单元、回流单元连通，用于在氨气的成分符合标准的情况下充装液氨至槽车和或钢瓶、以及在氨气的成分不符合标准的情况下输送氨气与液氨至回流单元；缓冲元件设置于与储液单元、充装元件连通的管路，用于缓冲储液单元传输的氨气；增压元件设置于与储液单元、充装元件连通的管路，用于增加充装压力；过滤元件设置于与储液单元、充装元件连通的管路，用于过滤储液单元传输的液氨； 回流单元，回流单元包括第一回流元件、第二回流元件、第三回流元件；第一回流元件与储液单元连通，用于在氨气的成分不符合标准的情况下，回流氨气至一级冷凝系统；第二回流元件与储液单元连通，用于在氨气的成分不符合标准的情况下，回流氨气至三级冷凝系统；第三回流元件与充装单元连通，用于将液氨至回收罐、一级冷凝系统、三级冷凝系统； 泄压单元，泄压单元与储液单元、充装单元连通，用于对储液单元、充装单元及管路进行泄压； 吹扫单元，吹扫单元与储液单元、充装单元连通，用于对储液单元、充装单元及管路内的杂质进行吹扫。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。