清华大学深圳国际研究生院郭竟获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种超柔性摩擦传感器及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117210797B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311051330.9,技术领域涉及:C23C16/22;该发明授权一种超柔性摩擦传感器及其制备方法和应用是由郭竟;徐晓敏;赵洪发;丁文伯设计研发完成,并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超柔性摩擦传感器及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超柔性摩擦传感器及其制备方法和应用,属于柔性电子技术领域。本发明提供的超柔性摩擦传感器包括传感层;所述传感层包括依次叠加设计的基底、第一导电层、光刻胶层、绝缘高分子层和第二导电层;所述基底的材质包括聚对二甲苯,厚度为0.1~3μm;所述超柔性摩擦传感器的厚度为20~40μm。本发明提供的超柔性摩擦传感器,和传统摩擦传感器相比,厚度更小,柔性和灵敏性更优。本发明还提供了上述超柔性摩擦传感器的制备方法和应用。
本发明授权一种超柔性摩擦传感器及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种超柔性摩擦传感器,其特征在于,所述超柔性摩擦传感器包括传感层; 所述传感层包括依次叠加设计的基底、第一导电层、光刻胶层、绝缘高分子层和第二导电层; 所述基底的材质包括聚对二甲苯,厚度为0.1~3μm; 所述光刻胶层具有镂空图案;所述镂空图案占所述光刻胶层的面积比例为5~40%; 所述光刻胶层和绝缘高分子层的边缘位置设有粘结物; 所述超柔性摩擦传感器的厚度为20~40μm。
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