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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利用于机械波探测的通感一体光子芯片及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116974008B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310840977.3，技术领域涉及：G02B6/12；该发明授权用于机械波探测的通感一体光子芯片及其制造方法是由李欣;方倩;冯萧萧;尹慧萍;王永进设计研发完成，并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于机械波探测的通感一体光子芯片及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于机械波探测的通感一体光子芯片及其制造方法，用于自由空间机械波探测，实现载体为带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶圆和附有高反射金属层的SU‑8光刻胶微腔。带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶圆包括硅衬底层和位于其上方包含多量子阱结构的氮化物外延层，氮化物外延层上设置有作为机械波探测光源的微型LED器件、光电探测器和作为可见光通信发射端的微型LED器件。带有高反射金属层的SU‑8光刻胶微腔由SU‑8光刻胶和金属银组成，用于将自由空间机械波转化为微腔结构的变形。本发明可以将机械波转化为可见光，实现了自由空间中对机械波的探测。

本发明授权用于机械波探测的通感一体光子芯片及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种用于机械波探测的通感一体光子芯片，以硅衬底氮化物晶圆和附有高反射金属层的SU-8光刻胶微腔为载体，用于自由空间机械波探测，其特征在于：所述用于机械波探测的通感一体光子芯片包括硅衬底层和氮化物外延层，所述氮化物外延层上设置有作为机械波探测光源的微型LED器件、光电探测器和作为可见光通信发射端的LED器件，所述氮化物外延层的上表面设置有正电极和负电极，所述SU-8光刻胶微腔由SU-8光刻胶和金属银组成，所述硅衬底氮化物晶圆与所述SU-8光刻胶微腔键合为一体化光子芯片，所述硅衬底氮化物晶圆与电路板进行引线键合； 带有高反射金属层的SU-8光刻胶微腔用于将自由空间机械波转化为微腔结构的变形；所述微型LED器件发射的可见光信号发射至带有高反射金属层的SU-8光刻胶微腔的内表面，可见光信号受到变形的高反射金属层的调制，受到微腔约束的调制光信号反射至所述光电探测器，产生变化的光电流；光电探测器的光电流驱动作为可见光通信发射端的微型LED器件，向外界发射加载了自由空间机械波的探测信息的可见光信号；硅衬底氮化物光子芯片上表面形成微腔结构的SU-8光刻胶支架，SU-8光刻胶顶部和SU-8光刻胶支架的键合，形成具有键合强度的SU-8光刻胶微腔结构。

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