新毅东(上海)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种气液分离式真空旋转设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116666294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310547371.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种气液分离式真空旋转设备是由张琪;符友银;杨涛设计研发完成，并于2023-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气液分离式真空旋转设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种气液分离式真空旋转设备，包括晶圆吸盘和分离装置，晶圆吸盘通过主轴穿设于分离装置后连接驱动装置，主轴内沿高度方向开设负压通道，负压通道与分离装置连通；分离装置连通真空接口，真空接口通过连接真空设备使分离装置内形成负压状态，分离装置内形成沉降通道，分离装置内处于负压状态下气体依次经过负压通道和沉降通道后由真空接口排出，气体中混有的液体沉降于分离装置底部并留存至连通于分离装置底部的排液装置；排液装置连接自动排液销，分离装置内解除负压状态后自动排液销受重力开启以排出排液装置内的液体。本发明用以解决混有药品液滴的气体吸入真空管路从而导致真空管路甚至真空设备发生损坏的问题。
本发明授权一种气液分离式真空旋转设备在权利要求书中公布了：1.一种气液分离式真空旋转设备，其特征在于，包括：晶圆吸盘和分离装置，所述晶圆吸盘通过主轴穿设于所述分离装置后连接驱使所述晶圆吸盘转动的驱动装置，所述主轴内沿高度方向开设负压通道，所述负压通道与分离装置连通； 所述分离装置连通真空接口，所述真空接口通过连接真空设备使分离装置内形成负压状态，所述分离装置内形成沉降通道，所述分离装置内处于负压状态下气体依次经过所述负压通道和沉降通道后由真空接口排出，气体中混有的液体沉降于所述分离装置底部并留存至连通于所述分离装置底部的排液装置； 所述排液装置连接自动排液销，所述分离装置内解除负压状态后所述自动排液销受重力开启以排出所述排液装置内的液体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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