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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116552611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310529771.9，技术领域涉及：B62B3/04；该发明授权一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装是由郭鑫;张建;李伟阳设计研发完成，并于2023-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，属于半导体设备技术领域，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘形成有承托面，在承托面外侧向上延伸有侧挡壁，侧挡壁围成的空间与静电卡盘组件的形状相匹配；在承托件的侧面由上至下开设有用于容纳静电卡盘组件的外接管线的管线避让槽；在承托件的相对的两侧设置有把手。本方案可提高拆装静电卡盘组件时的工作效率，解决静电卡盘组件从设备机台拆卸后存放与搬运过程中可能导致表面划伤或磕碰的问题，起到保护静电卡盘组件及其外接管线结构的作用，延长使用寿命，便于静电卡盘组件的检查与维护。

本发明授权一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，包括底座1，所述底座1上设置有承托件2；所述承托件2呈竖立的筒状，所述承托件2的上缘形成有承托面3，在所述承托面3外侧向上延伸有弧形的侧挡壁4，所述侧挡壁4围成的空间与所述静电卡盘组件的形状相匹配以进行限位；在所述承托件2的侧面由上至下开设有用于容纳所述静电卡盘组件A1的外接管线A2的管线避让槽5；在所述承托件2的相对的两侧设置有把手6； 所述管线避让槽5在所述承托件2两侧相对设置的两个；在所述管线避让槽5与所述承托件2中心连线的两侧位置开设有把手孔8，所述把手孔8的上方形成所述把手6，所述把手6的上表面低于所述承托面3；所述承托面3为由所述管线避让槽5及所述把手6相间隔地均匀分布的四个扇形面； 所述管线避让槽5的底部向外延伸设置有管线托架7；所述管线托架7为片状； 所述管线托架7上具有与所述外接管线A2相匹配的容置槽；所述外接管线A2包括射频铜带、水管及光纤；所述容置槽包括与水管及光纤相对应的线夹以利用弹性实现对水管及光纤的夹持固定，所述容置槽还包括在所述管线托架7末端开设的方形缺口以对射频铜带进行支撑、防止产生过大摆动。

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