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龙图腾网获悉武汉颐光科技有限公司申请的专利双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116519605B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310296081.3，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置是由薛小汝;石雅婷;李伟奇;何勇;郭春付;张传维设计研发完成，并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置，使用待校准的双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪对任意厚度的标准样件进行测量，获得样件对应的测量光强信号，然后用椭偏仪中各个光学器件的待校准参数、标准样件膜厚、偏振光照射到样件表面的入射角和等效光源强度仿真得到理论光强信号，通过拟合测量光强信号和理论光强信号，获得全光谱范围的系统参数。本发明提出的双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统的校准算法，能获得真实的安装方位角参数，有助于降低仪器出厂的系统差异。

本发明授权双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法，包括： 步骤1，获取待测样件在每个波长下的测量光强信号； 步骤2，基于每个波长下的系统参数参考值、等效光源强度、样件厚度和偏振光入射角仿真得到每个波长下的仿真光强信号； 步骤3，基于回归拟合方法，调整每个波长下的系统参数、等效光源强度、样件厚度和偏振光入射角，得到对应的仿真光强信号，使得所述仿真光强信号与所述测量光强信号接近，获取待测样件在每个波长下的系统参数； 所述步骤2，基于每个波长下的系统参数参考值、等效光源强度、样件厚度和偏振光入射角仿真得到每个波长下的仿真光强信号，包括： 对于每个波长，设置系统参数参考值、等效光源强度、样件厚度和偏振光入射角，通过双旋转补偿器型椭偏仪的系统模型计算出对应的仿真光强信号；所述双旋转补偿器型椭偏仪的系统模型表示为： 其中，使用Stokes向量描述光束的偏振态，Stokes向量共有四个分量，第一个分量即为光强信号强度，Sin是描述光源偏振态的Stokes向量，即Sin＝[s，0，0，0]T，s为等效光源强度，Sout表示光谱仪接收到的光束的Stokes向量，即光强信号，R-PMP为描述起偏器的穆勒矩阵，P为起偏器的等效方位角， 为描述第一旋转补偿器的穆勒矩阵，其中C1＝ω1t+Cs1，Cs1为第一补偿器的方位角，ω1为第一电机转动的机械频率，t为时间，δ1是第一补偿器的相位延迟量， 为描述第二旋转补偿器的穆勒矩阵，其中C2＝ω2t+Cs2，Cs2为第二补偿器的方位角，ω2为第二电机转动的机械频率，δ2是第二补偿器的相位延迟量，MARA为描述检偏器的穆勒矩阵，A为检偏器的等效方位角，MSd，θ为样件的穆勒矩阵，d为样件厚度，θ为偏振光入射角。

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