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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆金属镀膜系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116516320B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310631571.4，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权晶圆金属镀膜系统及方法是由王祥;曾沛钦;李王俊;路坤设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆金属镀膜系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆金属镀膜系统，其晶圆预抽装置包括预抽腔体、左晶圆升降基座、右晶圆升降基座、左水冷盘及右水冷盘；预抽腔体由横向隔板分割为上下两个腔体；左水冷盘固定安装在预抽腔体底板的左部，右水冷盘固定安装在预抽腔体底板的右部；水冷盘内设置有水冷管；水冷管的进水口及出水口连通到预抽腔体外；左晶圆升降基座设置在左水冷盘中央并能上下移动；右晶圆升降基座设置在右水冷盘中央并能上下移动；预抽腔体下腔体的侧壁设置有下进料口。本发明还公开了一种晶圆金属镀膜方法。本发明能使一对完成金属镀膜工艺的晶圆快速自然降温，减少高温金属镀膜晶圆在晶圆预抽装置里等待的时间，提高晶圆金属镀膜系统的晶圆传送效率。

本发明授权晶圆金属镀膜系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆金属镀膜系统，其特征在于，其包括晶圆预抽装置1； 所述晶圆预抽装置1包括预抽腔体11、左晶圆升降基座12、右晶圆升降基座13、左水冷盘14及右水冷盘15； 所述预抽腔体11由横向隔板18分割为上下两个腔体；左水冷盘14及右水冷盘15均设置在下腔体内，左水冷盘14固定安装在预抽腔体11底板的左部，右水冷盘15固定安装在预抽腔体11底板的右部； 左水冷盘14及右水冷盘15内设置有水冷管16，左水冷盘14及右水冷盘15用于承载并冷却晶圆9，其中，左水冷盘14和或右水冷盘15的上表面均匀形成多个凸块19，以使左水冷盘14和或右水冷盘15的上表面与承载的晶圆9之间存在间隙； 所述水冷管16的进水口及出水口连通到预抽腔体11外； 左晶圆升降基座12设置在左水冷盘14中央并能使得左水冷盘14上的晶圆9相对左水冷盘14上下移动； 右晶圆升降基座13设置在右水冷盘15中央并能使得右水冷盘15上的晶圆9相对右水冷盘15上下移动； 预抽腔体11下腔体的侧壁设置有向预抽腔体11下腔体内置入或取出晶圆9的下进料口。

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