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龙图腾网获悉上海芯谦集成电路有限公司申请的专利一种抛光垫清洁设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116423392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310324749.0，技术领域涉及：B24B55/06；该发明授权一种抛光垫清洁设备是由张莉娟设计研发完成，并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光垫清洁设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、设于工作台上的抛光垫固定台和清洁组件；抛光垫固定台上设有用于放置抛光垫的承载面，承载面上分布有多个气孔，气孔用于与真空泵连通，抛光垫固定台与工作台转动连接，使抛光垫固定台能够绕自身中心轴线转动；清洁组件与抛光垫固定台相对设置，用于清洁抛光垫。与现有技术相比，本发明在抛光垫固定台上设有气孔，气孔可以与真空泵连通，通过吸力将抛光垫紧密固定在承载面上，因此当抛光垫固定台绕工作台转动时，可以带动抛光垫相对于清洁组件转动，使得清洁组件可以对抛光垫上各个位置的碎渣进行清洁，有效提高了抛光垫清洁效率。

本发明授权一种抛光垫清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫清洁设备，其特征在于，所述抛光垫清洁设备100包括： 工作台10； 设于所述工作台10上的抛光垫固定台20，所述抛光垫固定台20上设有用于放置抛光垫25的承载面，所述承载面上分布有多个气孔21，所述气孔21用于与真空泵连通，所述抛光垫固定台20与所述工作台10转动连接，使所述抛光垫固定台20能够绕自身中心轴线转动； 清洁组件30，所述清洁组件30与所述抛光垫固定台20相对设置，用于清洁所述抛光垫25； 所述工作台10上设有垂直滑轨90，所述清洁组件30与所述垂直滑轨90滑动配合，所述垂直滑轨90的导向方向与所述承载面垂直； 所述工作台10上设有限位台92，所述清洁组件30上设有可位置调节的限位杆93，所述限位杆93的一端指向所述限位台92，当所述清洁组件30沿着所述垂直滑轨90滑动靠近所述承载面，所述限位杆93与所述限位台92抵接后，能够限制所述清洁组件30和所述承载面之间的最小距离，以使清洁组件30保持在抛光垫25对应的清洁高度； 所述清洁组件30包括清洁支架31和清洁刷32，所述清洁刷32包括滚刷321，所述滚刷321与所述清洁支架31转动连接，使所述滚刷321能够绕自身轴线转动，所述滚刷321的轴线与所述承载面平行，且所述抛光垫固定台20的旋转方向与滚刷321的旋转方向相反，以清洁抛光垫25的抛光面； 所述滚刷321的两端设有连接部322，所述清洁支架31上位于所述滚刷321轴向的两端设有条形槽，所述连接部322与所述条形槽转动连接，且所述连接部322与所述条形槽之间设有可竖向弹性压缩的弹性件323，以清洁抛光垫25的凹槽。

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