大连理工大学张振宇获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116423351B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310367014.6,技术领域涉及:B24B21/16;该发明授权一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及方法是由张振宇;李浩东;李嘉新;余家欣;孟凡宁;周红秀;石春景;冯俊元设计研发完成,并于2023-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及抛光方法。本发明包括机架、壳体、抛光带驱动模块、气动装夹吸盘模块、集液模块、超声施载模块、雾化喷液模块、紫外光照射模块、电控模块及控制面板。本发明基于化学机械抛光原理,通过超声振动提高化学机械抛光液中磨料的机械去除效率,并通过紫外光催化化学机械抛光液,使其中产生氧化活性自由基以提高抛光液与工件之间的化学腐蚀速率,实现零件的高效低损伤超精密抛光。本发明所述装备通过调节合适参数可以实现变曲率复杂曲面零件的高效低损伤化学机械抛光,且加工过程封闭,不会产生粉尘、噪音、有害气体等污染,对环境友好,对人体无伤害。
本发明授权一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置,其特征在于,包括机架、壳体、抛光带驱动模块、气动装夹吸盘模块、集液模块、超声施载模块、雾化喷液模块、紫外光照射模块、电控模块及控制面板; 所述抛光带驱动模块、气动装夹吸盘模块、集液模块、超声施载模块、雾化喷液模块、紫外光照射模块及电控模块设置于壳体内部的机架上; 所述控制面板置于壳体侧壁; 所述壳体包含顶盖、后板、侧板、前部带槽挡板与内侧壁连接板,可在加工情况下保持装置的密闭性,后板可绕与侧板相连的销轴打开以观测内部情况并往液箱添加抛光液,所述前部带槽挡板的槽部用于在工作状态下保持半封闭状态,便于实时观测抛光进程以及调整工件位置,所述壳体用于保证工作状况下加工装置内部的封闭性; 所述抛光带驱动模块用于驱动抛光带转动使其与被加工工件实现加工运动;所述抛光带驱动模块包括减速电机、轴承套筒、圆柱滚子轴承、张紧轮轴、磨砂革抛光带,电机由电控模块内电机驱动器驱动,经过联轴器、轴承、轴承套筒与张紧轮轴将电机输出轴回转运动转换为磨砂革抛光带回转运动,实现磨砂革抛光带与工件之间加工主运动; 所述气动装夹吸盘模块用于变曲率复杂曲面零件的装夹与移动; 所述集液模块用于收集加工废液并排出; 所述超声施载模块用于在抛光带与被加工工件之间施加附带不同频率超声振动的机械载荷;所述超声施载模块包括气缸安装架、直动气缸、超声振动装置、滚轮连接架、柔性滚轮与压力传感器,超声振动装置由集成于电控模块内的超声发生器与外部工型超声振子组成;气缸安装架通过螺栓连接于机架立板上,另一端连接直动气缸,直动气缸由集成于电控模块内的小型气泵驱动,且直动气缸输出端连接工型超声振子,工型超声振子通过滚轮连接架与柔性滚轮连接,压力传感器置于柔性滚轮内部;加工时通过控制按钮使气缸输出端推动柔性滚轮下压于抛光带上,使抛光带与工件之间产生相互作用力,柔性滚轮在受压时产生弹性形变,以适应工件形状实现曲面均匀施载,压力传感器用于将实时压力数据传输回电控模块,将压力信息显示于控制面板上,根据所显示的压力信息调节下压力大小; 所述雾化喷液模块用于雾化化学机械抛光液,并施加于待加工工件表面;所述雾化喷液模块包括液箱、箱盖、小型抽液泵、转接头、液管、雾化喷头,液箱置于机架底板上,通过底板凹槽定位,小型抽液泵抽液端探入液箱内,通过法兰与螺栓固定于液箱上,雾化喷头接于液管上,并经转接头穿过机架立板所开孔与抽液泵相连,抽液泵由电控模块控制,通过控制按钮可在加工时将抛光液经雾化喷嘴喷射于工件上; 所述紫外光照射模块用于在被加工工件与雾化后的抛光液中施加紫外光照射作用; 所述电控模块与控制面板用于集成控制各个模块的启停与运动,包括抛光过程工件夹紧与移动、抛光带转速、施载压力、超声振动频率、紫外光强度及抛光液流速的控制; 所述电控模块安装于机架立板后侧面上端,通过螺栓固定,各电器装置线路集于电控模块内,且集成电机驱动模块、超声发生器与小型气泵,可控制各个模块的启停与运动,根据工件的不同材质与形状、抛光液的不同成分以及不同加工阶段,调整抛光过程工件夹紧与移动、抛光带转速、施载压力、超声振动频率、紫外光强度及抛光液流速,达到合适的加工速率及表面质量。
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