中国科学院上海光学精密机械研究所魏朝阳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种全频段误差收敛的激光修形方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116408535B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310411740.3,技术领域涉及:B23K26/00;该发明授权一种全频段误差收敛的激光修形方法是由魏朝阳;韩宜池;万嵩林;彭小聪;邵建达;江国昌;王林设计研发完成,并于2023-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全频段误差收敛的激光修形方法在说明书摘要公布了:一种全频段误差收敛的激光修形方法,步骤为:首先基于激光修形模拟结果,确定致密化‑熔融效应的脉宽范围,从而获取脉宽范围内的修形深度;然后提取初始面形数值,将单个激光点集束成激光加工子区域,把区域内各点深度取平均值,获得修形平均深度点图;根据脉宽与修形深度的关系将修形平均深度点图转化为脉宽点图;然后设置声光调制器信号,通过控制激光加工子区域的重叠扫描路径,实现全频段收敛的高精度修形。本发明不需要任何附加成本,仅需控制脉宽并按照重叠路径扫描,即可实现全频段误差收敛。该方法扩展了激光加工的应用场景,并提供了一种高精度、低成本的光学制造新方法。
本发明授权一种全频段误差收敛的激光修形方法在权利要求书中公布了:1.一种全频段误差收敛的激光修形方法,其特征在于,包括: S1.基于致密化-熔融效应的确定在不同时刻t下激光脉冲的宽度τp,公式如下: 其中 其中ρ0是待修形材料的密度,Cp是定压比热容,K是导热系数,A是待修形材料的吸收率,P是激光功率,vscan是激光扫描速度,r0是激光光斑半径,T是待修形材料的温度,Tf是待修形材料的虚拟温度,ΔH是激活焓,R是理想气体常数为8.314Jmol·K,x是拟合系数;τv为弛豫函数,为梯度算子符号; S2.确定不同激光脉冲的宽度对应的修形深度h,公式如下: 其中hHAZ是热影响区厚度; S3.提取待修形区域面形高度数据,将面形高度最低位置设为0,高于该位置的点需要被修形,高出最低点的高度被视为修形深度,依次提取X方向间隔dx,Y方向间隔dy点的修形深度;随后将各高斯激光点集束成激光加工子区域,把激光加工子区域作为全新的去除函数fx,y,将子区域内各点修形深度取平均值,得到每个子区域的修形平均深度,从而获取修形平均深度点图 S4.将所述激光修形平均深度点图转化为激光脉宽点图转换公式如下: 其中代表激光加工子区域的脉冲驻留时间,代表卷积符号; S5.根据所述激光脉宽点图设置控制激光器声光调制器的时序信号,通过重叠集束方式控制激光加工子区域的重叠扫描路径,最终实现全频段收敛的激光修形。
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