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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116336972B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310410679.0，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备是由祁乔乔;劳召欣;吴思竹;陈超;尹智东设计研发完成，并于2023-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备，该误差判断方法首先进行粗对焦，依次完成三组呈直角三角形式分布的标定样结构，通过黑点测试确定三个标定样加工位置的精确对焦距离，并以此结合相邻标定样结构边长，计算出加工平面沿X和Y向的平面倾斜率，并根据平面倾斜率的大小判断光轴垂直度是否存在误差。该误差判断及校正方法解决了双光子聚合加工过程中由于激光焦点和加工平面的不对焦所导致的结构残缺问题，且具有简单、方便、高精度的优势，能进一步实现对加工平面平整度，即光轴垂直度误差判断及校正。

本发明授权基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断方法，其用于对一个双光子聚合加工设备的加工平面平整度，即光轴垂直度进行误差判断；所述双光子聚合加工设备包括基底、载物台和三维移动台；所述基底的上表面滴有待加工材料，下表面放置在所述载物台上；所述三维移动台用于在移动时带动所述载物台沿X、Y、Z三维移动，其中，Z轴垂直于X-Y所处的水平面；其特征在于，所述误差判断方法包括以下步骤： S1.沿Z轴方向移动所述三维移动台以完成粗对焦并记录Z向移动距离z，以确保标定样结构能够加工到所述基底上； S2.根据预先配置的标定样加工文件控制所述三维移动台移动，加工出第一标定样的结构； S3.在所述第一标定样的结构加工结束后控制所述三维移动台返回所述第一标定样的粗对焦位置； S4.控制所述三维移动台先后沿Y、X向分别移动预设的水平移动距离，以此先后抵达第二标定样和第三标定样的粗对焦位置，并按照S2的方式加工所述第二标定样和所述第三标定样的结构； 其中，在每加工出一个标定样结构之后，对当前标定样进行黑点测试，以此得到三个标定样各自加工位置的精确对焦距离； S5.结合三个所述精确对焦距离以及相邻标定样之间的水平移动距离，分别计算出所述加工平面沿X和Y向的平面倾斜率； S6.根据所述平面倾斜率的大小判断所述光轴垂直度是否存在误差； 其中，S4中，对所述当前标定样进行黑点测试的具体过程如下： S41.从当前标定样对应的粗对焦位置开始，控制所述三维移动台沿Z向微移动，并在移动至不同对焦距离时实时采集激光焦点所在水平面处的黑点图样； S42.根据各个黑点图样的清晰度和黑色度确定出最清晰黑点图样，并记录所述最清晰黑点图样所对应的Z向微移动距离，此时Z向恰位于所述基底与标定样结构的交界处，即激光加工焦面处，以此得到当前标定样加工位置的精确对焦距离。

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