胜高股份有限公司柳井凉一获国家专利权
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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116325082B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180067323.0，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法是由柳井凉一设计研发完成，并于2021-10-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种方法，其在利用单片式晶圆洗涤装置重复进行晶圆W的洗涤时也能够抑制晶圆表面处检测到的颗粒的数量突发性地增加。本发明的特征在于，单片式的晶圆洗涤装置100具备台11、药液供给喷嘴12、纯水供给喷嘴13、药液供给线14、纯水供给线15、废液线17，前述台11能够旋转，前述药液供给喷嘴12向在台11上载置的晶圆W供给药液，前述纯水供给喷嘴13向在台11上载置的晶圆W供给纯水，前述药液供给线14向药液供给喷嘴12供给药液，前述纯水供给线15向纯水供给喷嘴13供给纯水，前述废液线17将被供给的药液及纯水回收来排出，本发明包括向前述单片式的晶圆洗涤装置100的纯水供给线15导入含有微纳米气泡的纯水来洗涤纯水供给线15的配管的配管洗涤工序。
本发明授权单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法在权利要求书中公布了：1.一种单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法，是洗涤单片式的晶圆洗涤装置的配管的方法，前述单片式的晶圆洗涤装置具备台、药液供给喷嘴、纯水供给喷嘴、药液供给线、纯水供给线、废液线， 前述台供晶圆载置，能够旋转， 前述药液供给喷嘴向在前述台上载置的晶圆从晶圆正面侧及或反面侧供给药液， 前述纯水供给喷嘴向在前述台上载置的晶圆从晶圆正面侧及或反面侧供给纯水， 前述药液供给线向前述药液供给喷嘴供给前述药液， 前述纯水供给线向前述纯水供给喷嘴供给前述纯水， 前述废液线将被供给的前述药液及前述纯水回收来排出， 前述单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法的特征在于， 包括向前述纯水供给线导入含有密度为1×105个cm3以上1×1010个cm3以下的微纳米气泡的纯水来洗涤前述纯水供给线的配管的配管洗涤工序， 在前述配管洗涤工序中，将前述含微纳米气泡的纯水以不接触前述晶圆表面的方式向前述晶圆以外供给。
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