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龙图腾网获悉中国工程物理研究院电子工程研究所申请的专利一种谐振式硅微加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116298389B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310114299.2，技术领域涉及：G01P15/097；该发明授权一种谐振式硅微加速度计是由陈余;孙鹏;杨天宇;李小石;王曦;张开盛设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种谐振式硅微加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种谐振式硅微加速度计，涉及微机电系统技术领域，包括下层的衬底硅和上层的机械结构，所述衬底硅上带有左锚点和右锚点，上层的所述机械结构锚定于所述左锚点和右锚点上；所述机械结构包括两个沿X轴对称的左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器，所述左音叉梁谐振器通过左锚点固定于衬底硅上，所述右音叉梁谐振器通过右锚点固定于衬底硅上；所述左锚点和右锚点均位于左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器之间，且沿X轴对称设置，所述左锚点、右锚点、左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器均在同一直线上；所述X轴为敏感轴方向。采用本方案，通过将固定锚点数量减少为2个，并尽量居中靠近，从而进一步减小了温度应力对敏感结构的影响。

本发明授权一种谐振式硅微加速度计在权利要求书中公布了：1.一种谐振式硅微加速度计，包括下层的衬底硅29和上层的机械结构，其特征在于，所述衬底硅29上带有左锚点14A和右锚点14B，上层的所述机械结构锚定于所述左锚点14A和右锚点14B上；所述谐振式硅微加速度计中的锚点只有左锚点14A和右锚点14B； 所述机械结构包括两个沿X轴对称的左音叉梁谐振器1A和右音叉梁谐振器1B，所述左音叉梁谐振器1A通过左锚点14A固定于衬底硅29上，所述右音叉梁谐振器1B通过右锚点14B固定于衬底硅29上； 所述左锚点14A和右锚点14B均位于左音叉梁谐振器1A和右音叉梁谐振器1B之间，且沿X轴对称设置，所述左锚点、右锚点、左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器均在同一直线上；所述X轴为敏感轴方向； 所述机械结构还包括左梁结构和右梁结构，所述左梁结构一端固定于左锚点14A上，所述左梁结构另一端带有第一安装槽，所述左音叉梁谐振器1A设置于第一安装槽内；所述右梁结构一端固定于右锚点14B上，所述右梁结构另一端带有第二安装槽，所述右音叉梁谐振器1B设置于第二安装槽内； 所述机械结构还包括质量块12B，所述质量块12B包括左质量块和右质量块，所述左梁结构的上下两侧分别向外延伸有第一导向梁52A和第二导向梁52B，所述左质量块围绕所述左梁结构设置，并通过第一导向梁52A和第二导向梁52B连接于左梁结构上；所述右梁结构的上下两侧分别向外延伸有第三导向梁52C和第四导向梁52D，所述右质量块围绕所述右梁结构设置，并通过第三导向梁52C和第四导向梁52D连接于右梁结构上； 所述质量块12B的中部设有连接结构12C，所述连接结构12C位于所述左锚点14A和右锚点14B之间，所述左质量块通过所述连接结构12C和右质量块连接。

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