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龙图腾网获悉苏州菱麦自动化设备科技有限公司申请的专利一种机械手位置校准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116237931B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211694306.2，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权一种机械手位置校准装置是由袁湘军设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种机械手位置校准装置在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造领域，具体的说是一种机械手位置校准装置，包括校准座；所述校准座的顶端固接有支撑台；通过设置的四组支撑杆支撑四组限位板，用于衬托晶圆便于拾取，利用一组限位板内的红外射灯发射红外线，与撑压板外部的红外感应器对应接受，从而起到对机械手位置校准的作用，利用一号伺服电机、一号电滑块和二号电滑块相互配合，起到对机械手方位控制的作用，利用四组真空吸盘真空吸附晶圆顶端表面，起到对晶圆真空拾取转移的作用，配合二号伺服电机输出端转动，带动丝杆与配合环板丝杠螺母副转动，从而拉拽四组真空吸盘滑动吸盘架内壁，起到对四组真空吸盘吸附位置调节的效果。

本发明授权一种机械手位置校准装置在权利要求书中公布了：1.一种机械手位置校准装置，其特征在于：包括校准座1；所述校准座1的顶端固接有支撑台11；所述支撑台11的顶端固接有支撑杆12，且支撑杆12设置有四组；四组所述支撑杆12的顶端固接有限位板13，且限位板13设置有四组；四组所述限位板13上放置有晶圆14；一组所述限位板13的内部安装有红外射灯15；所述校准座1的外部设置有传动机构，传动机构用于对晶圆14真空拾取；所述传动机构上设置有红外感应器16，且红外射灯15与红外感应器16相对应； 所述传动机构包括配电箱2、一号伺服电机21、支撑架22、一号电滑块23、一号滑动架24、二号电滑块25、二号滑动架26和拾取组件；所述配电箱2与校准座1对应设置；所述一号伺服电机21固接在配电箱2的内部；所述支撑架22固接在一号伺服电机21的输出端；所述一号电滑块23滑动连接在支撑架22的内壁；所述一号滑动架24固接在一号电滑块23远离支撑架22的外部；所述二号电滑块25滑动连接在一号滑动架24的顶端内壁；所述二号滑动架26固接在二号电滑块25的外部；所述拾取组件设置在二号滑动架26远离二号电滑块25的一端，且拾取组件用于抓取晶圆14； 所述拾取组件包括吸盘架3、真空吸盘31、气管32、真空泵33和扩张结构；所述扩张结构设置在二号滑动架26的内部，且扩张结构用于控制机械手拾取晶圆14的位置；所述吸盘架3设置在扩张结构的下方；所述真空吸盘31滑动连接在吸盘架3的内壁，且真空吸盘31设置有四组；所述气管32固接在真空吸盘31的顶端；所述真空泵33固接在二号滑动架26的顶端，且真空泵33与真空吸盘31通过气管32相连通； 所述扩张结构包括二号伺服电机4、丝杆41、配合环板42和连接杆43；所述二号伺服电机4固接在二号滑动架26的内部；所述丝杆41固接在二号伺服电机4的输出端；所述配合环板42与丝杆41丝杠螺母副连接；所述连接杆43的一端铰接在配合环板42内部，且连接杆43的另一端铰接在真空吸盘31内部。

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