深圳市华芯半导体装备技术有限公司夏裕获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利一种利用涡流探伤的阵列探头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116223613B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211706987.X，技术领域涉及：G01N27/9013；该发明授权一种利用涡流探伤的阵列探头是由夏裕设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用涡流探伤的阵列探头在说明书摘要公布了：本发明提供了一种利用涡流探伤的阵列探头。定心框架和阵列式排布在定心框架中部的扁平线圈构成；其中，扁平线圈包括激发线圈和接收线圈；激发线圈用于发送探伤涡流；接收线圈用于接收探伤反馈信号。本发明的有益效果在于：本发明解决了现有的涡流探头扫描装置通用性差、成本高及工作效率低的问题；本发明的内部多路复用系统大大减少了称为互感的不良影响，并编程了每个线圈被激励以发送其涡流信号的实际时间。本发明在检测的过程中信号的相位和频率，能够判断目标对象的缺陷深度，信号的幅值可以确定线圈感应区的缺陷金属流失量；而且越靠近发射线圈灵敏度越高，而且检测具有方向性，实现了精准检测。
本发明授权一种利用涡流探伤的阵列探头在权利要求书中公布了：1.一种利用涡流探伤的阵列探头，其特征在于，包括定心框架和阵列式排布在定心框架中部的扁平线圈构成；其中， 扁平线圈包括激发线圈和接收线圈，所述接收线圈在工作时，划分为第一接收线圈、第二接收线圈和第三接收线圈； 第一接收线圈、第二接收线圈和激发线圈进行轴向检测； 第三接收线圈和激发线圈进行周向检测； 定心框架包括多路复用电路，多路复用电路包括双电源模仿开关U4、仪器放大器U3和多路复用器U2和射频同轴连接器S；其中， 多路复用器U2输出端与仪器放大器U3的输入端电连接，其用于获取缺陷信号； 仪器放大器U3的输出端与双电源模仿开关U4的输入端电连接，其用于将激励源信号放大； 双电源模仿开关U4的输出端与射频同轴连接器S电连接； 激发线圈用于发送探伤涡流； 接收线圈用于接收探伤反馈信号。
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