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龙图腾网获悉苏州威达智科技股份有限公司申请的专利一种三点高度调整平行度的晶圆平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116153839B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310151630.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种三点高度调整平行度的晶圆平台是由刘曜轩;罗伟凯;余岱璟;孟占坤;朱建成;刘大曙;李军岗;李华设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三点高度调整平行度的晶圆平台在说明书摘要公布了：本发明公开的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，包括平台本体、调平底板以及设置在调平底板与平台本体内侧的多个调节机构；多个调节机构沿平台本体周向均布；平台本体顶部设置有若干个吸盘与顶升孔，吸盘与顶升孔间隔设置；相邻的两个调节机构之间设置有拉簧，拉簧一端设置在平台本体的底部，拉簧的另一端设置在调平底板的顶部；多个调节机构用于调整平台本体的水平度；本发明通过三个调节机构对平台本体不同位置进行高度调节，能够更精准的将平台调至所需的状态，同时，调平底板与平台本体之间通过拉簧进行固定，防止第一球体或第二球体、第三球体脱离对应的槽口，调节精度高，同时安全可靠。

本发明授权一种三点高度调整平行度的晶圆平台在权利要求书中公布了：1.一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，包括：平台本体、调平底板以及设置在调平底板与平台本体内侧的多个调节机构； 多个调节机构沿所述平台本体周向均布； 所述平台本体顶部设置有若干个吸盘与顶升孔，所述吸盘与所述顶升孔间隔设置； 相邻的两个调节机构之间设置有拉簧，所述拉簧一端设置在所述平台本体的底部，所述拉簧的另一端设置在所述调平底板的顶部； 多个所述调节机构用于调整平台本体的水平度； 所述调节机构为3个，所述调节机构固定安装在调平底板的顶部，相邻的两个所述调节机构之间角度为120度，3个所述调节机构分别为第一调节机构、第二调节机构与第三调节机构； 所述第一调节机构包括第一直线滑轨、配合连接在第一直线滑轨上的第一水平滑块，所述第一直线滑轨一侧设置有第一竖直滑块，所述第一竖直滑块一侧设置有第一楔块，所述第一楔块顶部设置有第一槽口； 所述第二调节机构包括第二直线滑轨、配合连接在第二直线滑轨上的第二水平滑块，所述第二直线滑轨一侧设置有第二竖直滑块，所述第二竖直滑块一侧设置有第二楔块，所述第二楔块顶部设置有第二槽口； 所述第三调节机构包括第三直线滑轨、配合连接在第三直线滑轨上的第三水平滑块，所述第三直线滑轨一侧设置有第三竖直滑块，所述第三竖直滑块一侧设置有第三楔块，所述第三楔块顶部设置有第三槽口； 所述平台本体底部沿周向设置有第一支撑块、第二支撑块与第三支撑块，所述第一支撑块底部设置有V型槽，所述第二支撑块底部设置有半圆形凹槽，所述第三支撑块底部为平面结构，所述第一槽口、所述第二槽口与所述第三槽口分别与所述第一支撑块、所述第二支撑块、所述第三支撑块位置相对应； 所述第一槽口与所述第一支撑块之间设置有第一球体，所述第二槽口与所述第二支撑块之间设置有第二球体，所述第三槽口与所述第三支撑块之间设置有第三球体。

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