苏州外延世电子材料有限公司裴京春获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州外延世电子材料有限公司申请的专利PE-CVD加热板检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116106652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111322963.X,技术领域涉及:G01R31/00;该发明授权PE-CVD加热板检测装置是由裴京春;张龙浩;许昂设计研发完成,并于2021-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本PE-CVD加热板检测装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种PE‑CVD加热板检测装置,包括水平设置的工作台和依次设置于工作台的加热板、热感应玻璃和盖板,所述加热板内设置有若干加热线和与加热线一一对应的温度传感器,所述加热线和温度传感器分别连接于控制箱,所述热感应玻璃连接于显示装置。本申请结构简单,可快速检测加热板的热释放分布,并形成热释放分布图,直观得出加热板内部加热线和温度传感器的状态。
本发明授权PE-CVD加热板检测装置在权利要求书中公布了:1.一种PE-CVD加热板检测装置,其特征在于,包括水平设置的工作台和依次设置于工作台的加热板、热感应玻璃和盖板,所述加热板内设置有若干加热线和与加热线一一对应的温度传感器,所述加热线和温度传感器分别连接于控制箱,所述热感应玻璃连接于显示装置,所述工作台包括支撑架和固定于支撑架顶部的铝制基座,所述基座顶面设置有若干铝制支撑块,所述盖板的底面凹设有保温腔。
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