胜高股份有限公司佐藤忠广获国家专利权
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龙图腾网获悉胜高股份有限公司申请的专利监视方法、计算机可读存储介质、监视装置、以及晶片的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211374037.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权监视方法、计算机可读存储介质、监视装置、以及晶片的制造方法是由佐藤忠广;沟口和彦设计研发完成，并于2022-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本监视方法、计算机可读存储介质、监视装置、以及晶片的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够提高产品的质量的监视方法、监视程序、监视装置、晶片的制造方法以及晶片。基于从对晶片W进行加工的加工装置10取得的实际数据监视加工装置10的状态的监视方法包括如下的步骤：向表示实际数据与加工装置10的状态的关系的解析模型输入实际数据，取得从解析模型输出的表示加工装置10的状态的至少一个统计值；基于至少一个统计值，判定加工装置10的状态是否异常；在判定为加工装置10的状态异常的情况下，从实际数据的项目之中特别指定成为异常的原因的项目作为原因项目并输出。
本发明授权监视方法、计算机可读存储介质、监视装置、以及晶片的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种监视方法，基于从对块或晶片进行加工的加工装置取得的实际数据来监视所述加工装置的状态，其中，所述监视方法包括如下的步骤： 向基于教学数据中包括的说明变量的值和目的变量的值的关系来定义潜在变量的解析模型输入所述实际数据，取得表示由所述潜在变量规定的子空间中的所述实际数据的位置的T2统计值来作为从所述解析模型输出的表示所述加工装置的状态的至少一个统计值，所述解析模型是为了表示所述实际数据与所述加工装置的状态的关系而将所述加工装置的加工数据用作所述教学数据而生成的基于偏最小二乘法回归PLS法的解析模型； 基于所述至少一个统计值，判定所述加工装置的状态是否异常；以及 在判定为所述加工装置的状态异常的情况下，从所述实际数据的项目之中特别指定成为异常的原因的项目作为原因项目并输出。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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