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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115950623B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211689922.9，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法和系统是由袁征;于鹏;茆晓华设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法和系统，属于集成电路加工制造技术领域。该系统包括工业相机、显微镜头和反射镜；其中，显微镜头为远心镜头；通过将光路均匀性测量系统设置在光刻机的空间光调制器组件和投影物镜之间，使得光刻机光源发出的光所形成的光斑通过反射镜，进而进入显微镜头最终成像到工业相机的传感器面上，获得光斑的图像，计算该光斑图像的全局均匀性特征与局部均匀性特征，进而得到光斑图像的均匀性值，该方法所计算的均匀性值既可以从图像整体的角度来参与均匀性的分析，又通过局部特征的加入，使局部图像中蕴含的丰富数据信息得到利用，从而最终的计算结果更能全面的表达出图像的均匀性表现情况。

本发明授权一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种基于视觉系统的光路均匀性测量方法，其特征在于，所述方法包括： 步骤S1，获取投影曝光系统中照明光路所产生的光斑的图像，记为光斑图像I； 步骤S2，计算所述光斑图像I的全局均匀性特征GlobalU； 步骤S3，计算所述光斑图像I的局部均匀性特征LocalU； 步骤S4，根据光斑图像I的全局均匀性特征GlobalU和局部均匀性特征LocalU计算光斑图像I的均匀性U＝GlobalU+LocalU； 所述步骤S2包括： 设所述光斑图像I的长度、宽度分为Width和Height，根据式1计算光斑图像I的全局均匀性特征GlobalU： 其中， Ii,j为光斑图像I中第i行、第j列的像素灰度值，Iavg为光斑图像I灰度图像的均值； 所述步骤S3包括： 步骤S3.1，沿着光斑图像I的横向和纵向，分别将其进行M、N等分，将所述光斑图像I划分为M*N个子区域图像； 步骤S3.2，计算每个子区域图像与其它的M*N-1个子区域图像的相似度值； 步骤S3.3，统计每个子区域图像和其它子区域图像的相似度值，得到一个数据量为M*N个的相似度数组，求数组的平均值作为光斑图像I的局部均匀性特征LocalU。

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