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龙图腾网获悉珠海市睿晶聚源科技有限公司申请的专利基于光刻SEM图像的轮廓提取方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115937536B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211480277.X，技术领域涉及：G06V10/44；该发明授权基于光刻SEM图像的轮廓提取方法、装置、设备及存储介质是由谷俊豪;赵西金;胡滨;张德兵设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于光刻SEM图像的轮廓提取方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于光刻SEM图像的轮廓提取方法、装置、设备及存储介质，方法包括：根据带标签光刻SEM图像对初始语义分割模型进行训练，得到中间语义分割模型；将无标签光刻SEM图像输入至中间语义分割模型，得到携带有伪标签的分割图像；从伪标签中确定可用标签，根据携带有可用标签的分割图像和带标签光刻SEM图像对中间语义分割模型进行训练，得到目标语义分割模型；将待检测光刻SEM图像输入至目标语义分割模型，得到目标分割图像；根据轮廓提取算法和目标分割图像得到目标轮廓提取结果。本申请基于半监督学习模式的语义分割模型对光刻SEM图像进行轮廓提取，减少了对带标注数据集的依赖，降低成本的同时提高图像轮廓提取的效率。

本发明授权基于光刻SEM图像的轮廓提取方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基于光刻SEM图像的轮廓提取方法，其特征在于，包括： 获取初始训练数据集，所述初始训练数据集包括带标签光刻SEM图像和无标签光刻SEM图像； 根据所述带标签光刻SEM图像对预设的初始语义分割模型进行训练，得到中间语义分割模型； 将所述无标签光刻SEM图像输入至所述中间语义分割模型进行图像分割处理，得到携带有伪标签的分割图像； 从所述伪标签中确定可用标签，将携带有所述可用标签的分割图像和所述带标签光刻SEM图像确定为目标数据集； 根据所述目标数据集对所述中间语义分割模型进行训练，得到目标语义分割模型； 获取待检测光刻SEM图像，将所述待检测光刻SEM图像输入至所述目标语义分割模型进行图像分割处理，得到目标分割图像； 根据预设的轮廓提取算法对所述目标分割图像进行轮廓提取，得到目标轮廓提取结果； 所述目标语义分割模型包括编码模块、解码模块和跳跃连接模块，所述将所述待检测光刻SEM图像输入至所述目标语义分割模型进行图像分割处理，得到目标分割图像，包括： 将所述待检测光刻SEM图像输入至所述编码模块进行图像特征提取，得到第一特征图像； 将所述第一特征图像输入至所述解码模块进行数据上采样处理，得到第二特征图像； 通过所述跳跃连接模块将相互一一对应的所述第一特征图像和所述第二特征图像进行数据合并处理，得到第三特征图； 对所述第三特征图像进行卷积处理，根据预设的softmax激活函数对卷积处理后的第三特征图进行图像分类处理，得到所述目标分割图像。

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