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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆连续清洗设备及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910884B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211612214.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆连续清洗设备及清洗方法是由吴伟;张德海;王思远设计研发完成，并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆连续清洗设备及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆连续清洗设备及清洗方法，包括清洗操作平台，所述清洗操作平台上端安装有清洗室，所述清洗室内设置有清洗单元，所述清洗单元包括清洗安装基座，所述清洗安装基座上端转动连接有旋转安装盘，所述旋转安装盘侧壁可拆卸的固定连接有清洗安装工件，所述清洗安装工件末端开有上下贯通的容纳开口，所述容纳开口内安装有与之转动连接的清洗安装板，所述清洗安装板两端侧壁均可拆卸的固定连接有清洗部，所述清洗安装工件侧壁安装有第一电控装置用以控制清洗安装板转动。该发明能够控制晶圆处于不同高度，实现对晶圆两侧表面的连续清洗，极大地提高了晶圆清洗的效率。

本发明授权一种晶圆连续清洗设备及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆连续清洗设备，包括清洗操作平台1，所述清洗操作平台1上端安装有清洗室101，所述清洗室101内设置有清洗单元5，其特征在于： 所述清洗单元5包括清洗安装基座501，所述清洗安装基座501上端转动连接有旋转安装盘502，所述旋转安装盘502侧壁可拆卸的固定连接有清洗安装工件503，所述清洗安装工件503末端开有上下贯通的容纳开口，所述容纳开口内安装有与之转动连接的清洗安装板504，所述清洗安装板504两端侧壁均可拆卸的固定连接有清洗部，所述清洗安装工件503侧壁安装有第一电控装置用以控制清洗安装板504转动，所述清洗室101内部安装有用于承载晶圆的承载单元4，所述清洗操作平台1上端安装有用于控制晶圆处于不同高度清洗位置的抓取单元3； 所述抓取单元3包括抓取安装基座301，所述抓取安装基座301上端固定连接有第一伸缩组件303以及第二伸缩组件304，所述第二伸缩组件304的底座部分与第一伸缩组件303的伸缩部件相固定，所述第二伸缩组件304的伸缩部分末端安装固定有负压吸盘302； 所述清洗安装工件503两侧侧壁均固定连接有多个辅助气嘴505，多个所述辅助气嘴505外接有气控装置，多个所述辅助气嘴505位于清洗安装板504外侧且围绕着清洗安装板504周向分布，所述清洗安装工件503侧壁设置有第一导流装置506，所述第一导流装置506朝向清洗安装板504，所述清洗室101内壁设置有第二导流装置，所述第二导流装置朝向承载单元4； 所述第一导流装置506包括导流安装筒5061，所述导流安装筒5061内壁密封滑动连接有导流活塞5062，所述导流活塞5062侧壁固定连接有导流驱动杆5063，所述导流驱动杆5063末端贯穿导流安装筒5061，所述第一电控装置与导流驱动杆5063之间设置有联动部件用以控制导流活塞5062往复移动，所述导流活塞5062与导流安装筒5061之间形成导流腔室，所述导流腔室连通有两个导流管道5064，两个所述导流管道5064内均设置有单向阀门。

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