株式会社斯库林集团上野智宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理装置以及热处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831807B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211003994.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热处理装置以及热处理方法是由上野智宏;三宅浩志设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理装置以及热处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种详细地管理仿真晶片的劣化的热处理装置以及热处理方法。热处理装置100是对仿真晶片R进行管理的热处理装置100。热处理装置100具有：热处理部160，对仿真晶片R进行热处理；损伤检测部170，检测仿真晶片R的损伤；以及控制部3，基于由损伤检测部170检测出的损伤信息来判定仿真晶片R可否使用。
本发明授权热处理装置以及热处理方法在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，对仿真晶片进行管理，其特征在于， 具有： 热处理部，对所述仿真晶片进行热处理； 损伤检测部，利用检测照相机检测所述仿真晶片的损伤；以及 控制部，基于由所述损伤检测部检测出的损伤信息来判定所述仿真晶片可否使用， 所述损伤信息包括所述损伤的深度、所述损伤的长度、所述损伤的宽度、以及所述损伤的位置信息， 所述控制部计算将所述损伤的深度、所述损伤的长度、以及所述损伤的宽度相乘后的值除以从所述仿真晶片的中心到所述损伤的距离得到的损伤量，在所述损伤量超过规定的阈值的情况下，将所述仿真晶片判定为不可使用。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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