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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利微纳结构图形试样的自动对焦装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115774318B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211492677.2，技术领域涉及：G02B7/28；该发明授权微纳结构图形试样的自动对焦装置及方法是由高天宇;魏劲松;许孝忠设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本微纳结构图形试样的自动对焦装置及方法在说明书摘要公布了：一种高透明度微纳结构图形试样自动对焦装置及方法，装置包括计算机、激光器、CCD、反射镜、物镜、成像透镜和分光元件等，将微纳结构图形试样放置于载物台上，通过计算机处理CCD采集的激光透射光斑的直径数据计算得出当前样品的待测表面位置，控制电动调焦升降台带动物镜移动，完成自动对焦。本发明利用CCD采集的透射光斑直径作为对焦判据，提高了样品厚度变化的检测精度，降低了样品上高透明度区域及高复杂度微纳结构对光斑直径测量的影响，从而提高离焦量判断的准确性，实现对微纳结构图形试样更高速、更高稳定性、更高适应性的自动对焦。

本发明授权微纳结构图形试样的自动对焦装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种微纳结构图形试样的自动对焦装置，包括照明成像模块1、供微纳结构图形试样6放置的载物台7、激光器12、CCD14、控制器15和计算机16，其特征在于，还包括供第一物镜5放置的第一调焦机构4，供第二物镜8放置的第二调焦机构9； 所述的计算机16分别与所述的照明成像模块1、CCD14和控制器15通讯连接；所述的控制器15分别与所述的载物台7、第一调焦机构4、第二调焦机构9通讯连接； 所述激光器12出射激光经所述的第二物镜8会聚后，照射在微纳结构图形试样6底部，经该微纳结构图形试样6发生透射，透射光经微纳结构图形试样6上方第一物镜5后，经会聚透镜会聚，由CCD成像；控制第一调焦机构4带动载物台上方的第一物镜5运动，使载物台表面处于该第一物镜5的焦面位置，将微纳结构图形试样6放置于载物台上，通过计算机处理激光透射光斑的直径数据计算出载物台上表面到当前微纳结构图形试样6上表面的距离，具体包括将光斑直径dc与对应物距改变值Δs的数据标定并进行曲线拟合；控制第一调焦机构4回到距离s0处，将待测微纳结构图形试样6置于载物台7上表面，根据此时CCD14接收的光斑直径，结合步骤⑤所得的拟合曲线，得出由该待测微纳结构图形试样6产生的折射导致的第二物镜8的出射光束会聚点相对于第一物镜5的物距改变量Δs1；计算载物台7上表面到微纳结构图形试样6上表面的距离c，公式如下： 式中，sinI＝n·sinI′，n为微纳结构图形试样6的折射率；I为激光器12发出的激光经第二物镜8出射后的会聚角；控制第二调焦机构9带动第二物镜8升降，从而完成自动对焦。

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