哈尔滨工业大学李兴冀获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利面向工艺仿真的边界演变修复方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115758816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211404858.5，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权面向工艺仿真的边界演变修复方法、装置及存储介质是由李兴冀;骆吉洲;杨剑群;吕钢设计研发完成，并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本面向工艺仿真的边界演变修复方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种面向工艺仿真的边界演变修复方法、装置及存储介质，其中，一种面向工艺仿真的边界演变修复方法包括：对半导体器件进行边界识别；对识别得到的边界进行回路检测；当存在不合理边界回路时，进行边界修复，确定合理边界回路。本发明通过在半导体器件的工艺仿真中引入边界形态检测和修复过程，以消除沟道、遮挡等因素在工艺过程中的影响，防止相应边界深入单体材料内部，以得到工艺仿真产生的正确边界结果，从而得到符合预期的仿真结果，保证工艺仿真结果的准确性与可靠性。
本发明授权面向工艺仿真的边界演变修复方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种面向工艺仿真的边界演变修复方法，其特征在于，包括： 对半导体器件进行边界识别； 对识别得到的边界进行回路检测； 当存在不合理边界回路时，进行边界修复，确定合理边界回路； 其中，所述对半导体器件进行边界识别包括： 对所述半导体器件的暴露面和或边界面进行边界识别，和或，在工艺仿真中对所述半导体器件进行边界识别；其中，所述在工艺仿真中对所述半导体器件进行边界识别包括： 对所述半导体器件进行数值计算仿真； 对所述半导体器件进行有限元网格划分； 根据所述数值计算仿真的结果调整所述半导体器件的暴露面和分界面的有限元网格； 根据所述有限元网格，对所述半导体器件的所述暴露面和所述分界面进行边界识别。
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