株式会社斯库林集团塚原隆太获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115602570B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210527908.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理方法是由塚原隆太;泽崎尚树;西村优大;坂聪一朗设计研发完成，并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：一种基板处理方法，缩短基板处理所需要的时间。预先设定有流程处理程式，该流程处理程式包括：第一工艺处理程式，设定对基板执行的第一处理的内容，第二工艺处理程式，设定在第一处理之后对基板执行的第二处理的内容，以及预处理程式，设定关于第二工艺处理程式的预备动作的内容；第一处理包括对基板进行的第一药液的喷出，第二处理包括对基板进行的第一药液的喷出，预备动作包括第一药液的排出。基板处理方法具有以下工序：执行第一处理，判断从第一处理结束到第二处理开始为止的时间是否比第一阈值短，以及若判断的结果为肯定，则减少预备动作的时间，执行第二处理。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，预先设定有流程处理程式，所述流程处理程式包括： 第一工艺处理程式，设定对基板执行的第一处理的内容， 第二工艺处理程式，设定在所述第一处理之后对所述基板执行的第二处理的内容，以及 预处理程式，设定关于所述第二工艺处理程式的预备动作的内容； 所述基板处理方法的特征在于， 所述第一处理包括对所述基板进行的第一药液的喷出， 所述第二处理包括对所述基板进行的所述第一药液的喷出， 所述预备动作包括所述第一药液的排出， 所述基板处理方法具有以下工序： 执行所述第一处理， 判断从所述第一处理结束到所述第二处理开始为止的时间是否比第一阈值短，以及 若所述判断的结果为肯定，则减少所述预备动作的时间，执行所述第二处理； 若从所述第一处理中的所述第一药液的所述喷出结束到所述第二处理中的所述第一药液的所述喷出开始为止的时间比第二阈值短并且比第一阈值长，则减少所述预备动作的时间，所述第二阈值比所述第一阈值长。
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