云谷(固安)科技有限公司王峰超获国家专利权
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龙图腾网获悉云谷(固安)科技有限公司申请的专利阵列基板以及制备方法和显示面板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115513237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211123577.2,技术领域涉及:H10F39/12;该发明授权阵列基板以及制备方法和显示面板是由王峰超设计研发完成,并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本阵列基板以及制备方法和显示面板在说明书摘要公布了:本申请提供一种阵列基板及其制备方法和具有该阵列基板的显示面板,涉及显示技术领域,该制备方法包括提供衬底并在衬底上形成薄膜晶体管层,薄膜晶体管层包括层间介质层和位于层间介质层背离衬底一侧表面上的第一导电层,并且,层间介质层包括依次沉积形成的第一子层与第二子层,第一子层的沉积温度小于第二子层的沉积温度,以使得第二子层的晶格密度大于第一子层的晶格密度。在第一导电层背离衬底的一侧形成感光功能层。沉积覆盖感光功能层的钝化层薄膜,对钝化层薄膜进行图案化处理形成具有开口的钝化层,开口在衬底上的正投影与感光功能层在衬底上的正投影交叠。降低了感光功能层侧壁的电阻出现跳变的概率,提高感光功能层的电学性能。
本发明授权阵列基板以及制备方法和显示面板在权利要求书中公布了:1.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括: 提供衬底并在所述衬底上形成薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层包括层间介质层和位于所述层间介质层背离所述衬底一侧表面上的第一导电层; 在所述第一导电层背离所述衬底的一侧形成感光功能层; 沉积覆盖所述感光功能层的钝化层薄膜,对所述钝化层薄膜进行图案化处理形成具有开口的钝化层,所述开口在所述衬底上的正投影与所述感光功能层在所述衬底上的正投影交叠; 其中,所述层间介质层包括依次沉积形成的第一子层与第二子层,所述第一子层的沉积温度小于第二子层的沉积温度,以使得所述第二子层的晶格密度大于所述第一子层的晶格密度。
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