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龙图腾网获悉南京原磊纳米材料有限公司申请的专利工艺气体引入组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115369381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210690142.X，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权工艺气体引入组件是由郑锦;李立松;刘松;王建光;胡克文设计研发完成，并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺气体引入组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种工艺气体引入组件，包括有真空连接件主体，所述真空连接件主体的上端部分布有进气管道，还包括有真空连接件进源机构，所述真空连接件进源机构的上端部与真空连接件主体的下端部密封固定连接，同时所述真空连接件进源机构的内部与真空连接件主体的内部相通。本发明从根源上解决了因不同源之间的反应，可能造成管道堵塞的问题，同时还可以加快源的传输速率，有助于提高装置整体的工作效率。

本发明授权工艺气体引入组件在权利要求书中公布了：1.一种工艺气体引入组件，包括有真空连接件主体，所述真空连接件主体的上端部分布有进气管道，其特征在于，还包括有真空连接件进源机构，所述真空连接件进源机构的上端部与真空连接件主体的下端部密封固定连接，同时所述真空连接件进源机构的内部与真空连接件主体的内部相通；所述真空连接件主体的内部开设有气源传输孔道，所述气源传输孔道贯穿真空连接件主体的底部，并与所述进气管道、真空连接件进源机构相连通；还包括有吹扫管道，所述吹扫管道设置在进气管道的一侧，同时所述吹扫管道的一端通过吹扫传输孔道与真空连接件进源机构的内部相通，所述吹扫传输孔道设置在真空连接件主体的内部；所述进气管道包括有A源进气管道和B源进气管道，所述A源进气管道和B源进气管道均通过气源传输孔道与真空连接件进源机构的内部相通；所述真空连接件进源机构包括有真空连接件过渡板和进源管道，所述进源管道焊接在真空连接件过渡板的下端，且所述真空连接件过渡板和进源管道之间相通；所述A源进气管道和B源进气管道均通过气源传输孔道和真空连接件过渡板与进源管道相通，所述吹扫管道通过吹扫传输孔道与真空连接件过渡板相通；所述真空连接件过渡板上开设有A源通孔、B源通孔和吹扫通孔，所述A源通孔设置在B源通孔的一侧，所述吹扫通孔环形分布在A源通孔和B源通孔的外侧；所述A源进气管道与A源通孔相通，所述B源进气管道与B源通孔相通，所述吹扫管道与吹扫通孔相通；所述A源通孔和B源通孔的端部均设置有反应源密封环道，所述吹扫通孔的端部设置有吹扫密封环道；所述反应源密封环道内设置有反应源密封圈，所述吹扫密封环道内设置有吹扫密封圈。

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