河南通用智能装备有限公司陶为银获国家专利权
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龙图腾网获悉河南通用智能装备有限公司申请的专利一种晶圆覆膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274423B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210756761.4，技术领域涉及：H01L21/30；该发明授权一种晶圆覆膜方法是由陶为银设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆覆膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开的晶圆覆膜方法，通过压模组件和固定角度组件之间的配合，控制BG膜在贴膜之前，整个处于平整的状态，且保持压模辊与固定角度辊之间的BG膜与贴膜平台之间的角度不变，压模辊能够将BG膜下方的空气排净，避免出现褶皱；在对BG膜进行切割时采用热切的环切刀组件，能够利用加热的刀片对BG膜进行切割，避免在切割过程中的环切刀使BG膜出现褶皱。
本发明授权一种晶圆覆膜方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆覆膜方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一：通过多功能机械手中的转运机械手将料仓中的晶圆取出，在晶圆承接机构的作用下，将晶圆放置在贴膜平台上，贴膜平台对晶圆进行吸附； 步骤二：通过复合膜放膜系统将BG膜输送至晶圆上方，在压模组件的作用下，将BG膜贴附在晶圆表面； 步骤三：通过多功能机械手中的视觉定位装置对晶圆位置进行定位，并通过旋转切割部件对BG膜进行热切； 步骤四：BG膜切割完成后，通过晶圆承接机构将贴膜后的晶圆转送至转运机械手上，随后将贴膜后的晶圆转送至料仓内； 步骤五：切割后的BG膜经收余料系统进行回收； 步骤二中，压模组件在将BG膜贴附在晶圆表面时，与固定角度组件配合；压模组件中的压模辊在将BG膜向贴膜平台靠近时，又能够在压模移动伺服模组的作用下沿模的运行方向移动，固定角度组件中的固定角度辊的位置也会发生变化，压膜辊与固定角度辊之间的BG膜与贴膜平台所在水平面之间角度不变。
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