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华侨大学陆静获国家专利权

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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115266726B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210794297.8,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法是由陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明设计研发完成,并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法,衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底;第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方,第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置,第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡;第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方,位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动,以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量,进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便,实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性,极大降低人工以及学习成本。

本发明授权基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置,其特征在于:它包括: 衬底固定机构,其包括衬底固定架,该衬底固定架设有上下贯穿的衬底容纳腔,该衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底; 图像检测机构,其包括第一相机和第二相机,所述第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方,所述第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置,所述第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡; 厚度检测机构,其包括位移传动机构、第一激光位移传感器和第二激光位移传感器,所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方,该位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动,以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量,进而得到多片金刚石片处的厚度信息; 所述衬底容纳腔之腔壁设有一台阶面,所述衬底四周置于该台阶面上; 所述衬底固定机构还包括调节板,该调节板四周可置于所述台阶面上,且该调节板设有上下贯穿的衬底容纳分腔; 还包括衬底装卸机构,该衬底装卸机构包括旋转电缸、摆臂、顶出气缸、顶出座、环形橡胶垫和可通入负压的快速连接阀,所述摆臂连接在旋转电缸上且可水平转动,所述顶出气缸安装在摆臂上,所述顶出座连接顶出气缸且,该顶出座可上下移动并能向上伸出衬底容置腔,所述环形橡胶垫固接在顶出座上且二者之间围成负压腔,所述快速连接阀安装在顶出座上且与负压腔相连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华侨大学,其通讯地址为:362000 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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