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河南通用智能装备有限公司陶为银获国家专利权

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龙图腾网获悉河南通用智能装备有限公司申请的专利一种晶圆圆切装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115194875B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210756715.4,技术领域涉及:B26D7/10;该发明授权一种晶圆圆切装置是由陶为银设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆圆切装置在说明书摘要公布了:本发明公开的晶圆圆切装置,包括旋转切割部件和贴膜平台,旋转切割部件包括固定在多功能机械手上的旋转切割座,旋转切割座上固定旋转驱动电机,旋转驱动电机的输出轴处连接旋转臂,旋转臂一端设置环切刀组件;贴膜平台上设置与环切刀组件中环切刀对应的环切槽,在进行圆切时,环切刀能够进入到环切槽中,贴膜平台不会对环切刀进行阻碍,通过热切的方式,对BG膜进行切割,能够避免由于刀具的旋转,BG膜出现褶皱。

本发明授权一种晶圆圆切装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆圆切装置,其特征在于,包括旋转切割部件和贴膜平台,旋转切割部件包括固定在多功能机械手上的旋转切割座,旋转切割座上固定旋转驱动电机,旋转驱动电机的输出轴处连接旋转臂,旋转臂一端设置环切刀组件;贴膜平台上设置与环切刀组件中环切刀对应的环切槽;环切刀组件还包括角度调节机构和复位机构,角度调节机构使得环切刀组件相对于旋转臂发生转动,复位机构使得环切刀组件经转动后对环切刀组件进行固定;角度调节机构包括设置在切割刀座底部的凸块,凸块中螺纹连接角度调节螺栓;角度调节螺栓的端部的移动调节环切刀的角度;复位机构为拉簧,拉簧两端分别与切割刀座底部和刀座连接,拉簧与刀座的连接点位于环切刀组件与切割刀座之间铰接点的同侧;或者复位机构为压簧,压簧两端分别与切割刀座底部和刀座连接,压簧与刀座的连接点位于环切刀组件与切割刀座之间铰接点的不同侧;旋转臂另一端设置平衡组件;旋转臂上设置长圆孔,长圆孔的长度方向与旋转臂的长度方向一致,平衡组件通过定位螺栓固定在长圆孔中,并通过调节定位螺栓与旋转中线之间的距离,保证环切时的平衡; 所述环切刀组件包括:设置在旋转臂端部的U型切割刀座,U型开口处设置刀座,刀座上设置加热装置,加热装置对固的在刀座上的环切刀进行加热; 沿旋转臂的长度方向,加热装置包括,固定在刀座上的隔热板、电加热板和PTC加热器,导热板和PTC加热器之间固定环切刀;电加热板通过电线进行加热;所述PTC加热器通过固定螺栓固定在导热板上,并将环切刀进行夹紧;所述环切槽的宽度为5mm;环切槽的深度为0.2mm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南通用智能装备有限公司,其通讯地址为:450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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