无锡市核力创芯科技有限公司冯斌获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡市核力创芯科技有限公司申请的专利一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172245B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210965550.1，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统及调节方法是由冯斌;于天华;李笑;朱晓桦;张政;王泊锡;王孝宇;姜桂林设计研发完成，并于2022-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统及调节方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统及调节方法，所述调节系统包括：装夹，用于放置晶圆；调节部，与装夹连接；所述调节部包括连接件，用于连接装夹；调整件，与连接件连接，至少设置三组且呈等间距分布，使装夹在既定区域内调整角度，完成晶圆的均匀辐照；底架，用于放置调整件。本发明通过设计设计至少三组且呈等间距分布的调整件，使装夹在既定区域内调整角度，进而完成晶圆的辐照角度调整，进而使得晶圆接收辐照时，与束流入射角度匹配，使得晶圆辐照更加均匀。
本发明授权一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统及调节方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆质子辐照用晶圆角度调节系统，包括： 装夹1，用于放置晶圆11； 调节部，与装夹1连接； 其特征在于，所述调节部包括连接件2，用于连接装夹1； 调整件3，与连接件2连接，至少设置三组且呈等间距分布，使装夹1在既定区域内调整角度，完成晶圆11的均匀辐照；所述调整件3包括调整架31，安装在所述调整架31上的调整电机32，设置在所述调整电机32输出端的调整输入轴34，套接于所述调整输入轴34的输入齿轮33，与所述输入齿轮33啮合的调整齿轮36，插接于所述调整齿轮36且设置在所述调整架31内的调整丝杆35，套接于所述调整丝杆35且与所述调整架31滑动连接的调整滑块37，以及与所述调整滑块37铰接的调整轴38； 底架4，用于放置调整件3； 所述装夹1包括收纳壳12。
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