株式会社斯库林集团石井弘晃获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113892167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080039628.6，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由石井弘晃;高冈诚设计研发完成，并于2020-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：使中央部由旋转卡盘5支承的衬底W绕旋转轴线A1旋转。在外周部蚀刻工序中，从处理液喷嘴6的排出口6a向设置于旋转的衬底W的上表面外周部102的着液位置105排出蚀刻液。在外周部蚀刻工序中，监视上表面外周部102的高度上表面外周部102的高度应变HD，基于求出的上表面外周部102的高度应变HD使着液位置105在径向RD上移动高度应变监视工序S6&着液位置移动工序S7。由此，由被供给到着液位置105的蚀刻液形成的液膜LF的内周位置LFa被调整为接近期望位置。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.衬底处理方法，其包括： 衬底旋转工序，使由衬底保持单元保持的衬底绕通过所述衬底的中央部的旋转轴线旋转； 外周部处理工序，其与所述衬底旋转工序并行，相对于设置于所述衬底的表面外周部的着液位置，从配置于所述衬底的旋转半径方向的内侧的排出口向所述着液位置排出处理液，使用处理液对所述表面外周部进行处理； 高度应变获取工序，获取所述衬底的所述表面外周部的高度应变； 内周位置调整工序，基于通过所述高度应变获取工序获取到的高度应变，一边将从所述排出口排出的处理液的排出方向保持恒定，一边对被供给到所述着液位置的处理液的内周位置进行调整；以及 衬底加热工序，与所述衬底旋转工序和所述外周部处理工序并行地对所述衬底中的至少外周部进行加热， 所述高度应变获取工序包括基于从所述衬底加热工序的开始起的经过时间而对所述表面外周部的所述高度应变进行运算的加热高度应变运算工序， 所述内周位置调整工序包括基于通过所述加热高度应变运算工序求出的所述高度应变对所述内周位置进行调整的工序。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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