芯恩(青岛)集成电路有限公司刘芳妍获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆位置矫正装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582977U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520232274.7，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆位置矫正装置是由刘芳妍;唐国军;王智权;赫国兰设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆位置矫正装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆位置矫正装置，应用于热退火设备中，所述热退火设备包括一反应腔体，包括：边缘环本体，包括支撑部和调整部，所述支撑部靠近所述边缘环本体的内环壁面，所述支撑部沿所述边缘环本体的内环到外环方向的高度不变；所述调整部靠近所述边缘环本体的外环壁面，所述调整部沿所述边缘环本体的内环到外环方向的高度逐渐变大；震动件，靠近所述边缘环本体设置，所述震动件用于驱动所述边缘环本体上的晶圆震动；其中，当晶圆放置在所述边缘环本体上且晶圆边缘抵接所述调整部时，所述震动件驱动晶圆震动并将晶圆震动至所述支撑部上。本实用新型能够减小晶圆在不同方向的边缘与边缘环的接触面积差距，进而避免出现偏边情况。
本实用新型一种晶圆位置矫正装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆位置矫正装置，应用于热退火设备中，所述热退火设备包括一反应腔体，其特征在于，包括： 边缘环本体1，包括支撑部11和调整部12，所述支撑部11靠近所述边缘环本体1的内环壁面，所述支撑部11沿所述边缘环本体1的内环到外环方向的高度不变；所述调整部12靠近所述边缘环本体1的外环壁面，所述调整部12沿所述边缘环本体1的内环到外环方向的高度逐渐变大； 所述边缘环本体1的中央下方设置有通过控制气流驱动所述边缘环本体1上的晶圆震动以实现晶圆与所述边缘环本体1良好配合的震动件2。
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