苏州高意激光科技有限公司吴喜泉获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州高意激光科技有限公司申请的专利一种晶圆提篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223582963U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422949744.X,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种晶圆提篮是由吴喜泉设计研发完成,并于2024-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆提篮在说明书摘要公布了:本申请公开一种晶圆提篮。该晶圆提篮其用于存放晶圆包括框体,其中该框体具有顶板、相对设置的一对侧壁及横梁,一侧的侧壁上设置有第一凹槽,相对的另一侧的侧壁上匹配的设置有第二凹槽,且第一凹槽与第二凹槽一一匹配设置且高度相同,该第一凹槽与第二凹槽的组合以插入托盘,横梁的两侧分别固定于该侧壁上,该横梁上设置有至少一定位孔,该定位孔嵌入定位柱,且该定位柱的远离横梁侧固定于顶板上,该定位柱用于卡住插入的托盘。这样通过对框体结构的改善,保证托盘可靠插入卡槽的同时通过定位柱定位避免其在框体内晃动转动,避免其上的晶圆穿出,降低晶圆在传输过程中损坏的风险。
本实用新型一种晶圆提篮在权利要求书中公布了:1.一种晶圆提篮,其用于存放晶圆,其特征在于,包括,框体, 所述框体具有顶板、相对设置的第一侧壁、第二侧壁及横梁, 所述第一侧壁上设置有第一凹槽,与所述第一侧壁相对的所述第二侧壁上匹配的设置有第二凹槽,且所述第一凹槽与所述第二凹槽一一匹配设置,所述第一凹槽与第二凹槽的组合以容纳插入的托盘, 所述横梁的两侧分别固定于第一侧壁、第二侧壁的底部侧,且与所述顶板相对设置,所述横梁上设置有至少一定位孔,所述定位孔嵌入定位柱,且所述定位柱的远离横梁侧固定于所述顶板上,用于卡住插入的托盘。
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